Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON VDF-615S #293801781 zu verkaufen
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ID: 293801781
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1994
Diffusion furnace, 6"
NGC-M3
1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON VDF-615S Diffusionsofen ist ein Festkörper chemische Diffusionsofen für den Einsatz in der Halbleiterindustrie und Forschungslabors konzipiert. Mit einem Temperaturbereich von 50-900 Grad C eignet sich dieser Diffusionsofen für eine Vielzahl von Diffusionsprozessen. Seine Konstruktion umfasst ein massives Graphitheizelement, leitungsabgestimmte Heizkurven und eine druckdichte Kammer, um eine gleichmäßige Erwärmung zu gewährleisten. Dieser Diffusionsofen ist mit einem dreizonigen analogen Temperaturregler ausgestattet, der für eine Vielzahl von Temperaturprofilen geeignet ist. Für maximale Präzision enthält die Frontplatte außerdem einen verstellbaren Lüfter zur besseren Kühlung der Kammerrückseite, einen Abgasanschluss und einen Thermoelementanschluss. Dies ermöglicht eine genaue Temperaturregelung und Überwachung während des gesamten Diffusionsprozesses. Um sicherzustellen, dass die für Diffusionsprozesse notwendigen hohen Temperaturen in der gesamten Kammer gleichmäßig bleiben, weist TEL VDF-615S auch einen horizontalen Doppelstockgasstromkasten auf. Dadurch wird sichergestellt, dass sich der Gasstrom für gleichmäßige Leistungen kontinuierlich gleichmäßig über den gesamten Heizprozessor verteilt. TOKYO ELECTRON VDF-615S ist auch mit einer Reihe weiterer Merkmale ausgestattet, die speziell auf die Diffusionsleistung ausgerichtet sind. Entlang der Seite sind Merkmale einschließlich Lufteinlass für schnelle Abkühlung, ein Luftreinigungssystem für schnelle Gasspülung und Entlüftung, und eine Turboscheibe, die hilft, die Gase zu mischen. Zusätzlich ist der Diffusionsofen mit einem optischen Fenster ausgestattet, das es ermöglicht, den Diffusionsprozess visuell zu beobachten. Dieses Fenster ist mit einer Quarzabdeckung geschützt, um eine Verschmutzung der Kammer zu verhindern und für den Einsatz über einen weiten Temperaturbereich geeignet zu machen. Um die Sicherheit des Bedieners zu gewährleisten, wurden in VDF-615S Diffusionsofen eine Reihe von Merkmalen eingebaut. Dazu gehören ein Abgasstrommesser, eine Notabgasöffnung, ein Not-Start-Stopp-Schalter und ein Sauerstoffsensor im Abgasrohr. Diese Funktionen helfen, mögliche Unfälle zu reduzieren und die Integrität der Ofenumgebung zu erhalten. Insgesamt ist TEL/TOKYO ELECTRON VDF-615S Diffusionsofen ein zuverlässiges Gerät, das sich für eine Vielzahl von Diffusionsprozessen eignet. Es verfügt über erweiterte Sicherheitsfunktionen und Temperaturkontrolle, so dass es ein ideales Gerät für Forschung und Industrie.
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