Gebraucht TEMPRESS TS81254 #9196754 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9196754
Furnace
Horizontal annealing / Oxidation furnace
SCARA Robot
Digital process controller (DPC)
Digital temperature controller (DTC)
TEMPRESS System controller (TSC-2)
(1) Advanced fans assy
(2) Excess temperature controller
(8) Tube adapters
(4) Radiation heat-shield
(4) Isolation collar
(4) Profiling thermocouple for 1250mm flatzone
(4) Tubes
(5) Heating zones
System leak integrity: 10-8 cc/s He
With full automation system
Spectre HV vapor dry etch system with full automation
2014 vintage.
TEMPRESS TS81254 ist ein fortschrittliches und leistungsstarkes Diffusionsofen und Zubehör-Set von TEMPRESS, ausgeschnitten für anspruchsvolle Hersteller. Dieser Aufbau eignet sich gut für viele Diffusionsprozesse wie Aluminiumoxidfolien, elektronische Verpackungen und Solarzellenfertigung. Kern dieses Sets ist der Diffusionsofen TEMPRESS TS 81254, der für Prozesstemperaturen bis 1 500 ° C (2 732 ° F) ausgelegt ist. Dieses fortschrittliche System bietet eine Kammer mit 4,5 Kubikfuß (0,127 Meter) und einen maximalen Arbeitsdruck von 25 kPa. Es ist mit einer luftgekühlten, niederprofiligen Induktionsheizspule mit einer Ultrahochfrequenz bis 40 kHz ausgestattet, um eine präzise Rezeptsteuerung zu gewährleisten. Darüber hinaus verfügt es über Vorwärtsextraktion Axialkraftventilatoren (AFFs), um eine gleichmäßige Luftverteilung zu gewährleisten, Oxidation zu verhindern und vor Gegendruckaufbauten zu schützen. TS81254 Zubehör umfasst ein modernes Vakuumsperrventil (VLOV), das automatisch Restgas innerhalb der Kammer entlüftet, um die Feuchtigkeit innerhalb der Ofenkammer zu minimieren. Es enthält auch einen Gaskrümmer mit hoher Kapazität, der konfiguriert ist, um einen sicheren und wiederholbaren Gasfluss zu gewährleisten. Dieser Verteiler unterstützt Stickstoff-, Argon- und Wasserstoffsysteme sowie eine zuverlässige, nicht verschüttete Verbindungsintegrität. Darüber hinaus verfügt das System über mehrere Ofenregler zur Überwachung von Tastendruck, Temperatur und Feuchtigkeit, um eine konstante Rückkopplung des Diffusionsprozesses zu ermöglichen. Dieses Setup wird weiter durch hochwertige Plenumfilter mit niedriger Krümmung verewigt, die sowohl die thermische als auch die elektrische Effizienz steigern. TS 81254 ist ein extrem zuverlässiger und effizienter Diffusionsofen und Zubehörsatz für Hersteller, die absolute Präzision verlangen. Dieses Setup ist vielseitig einsetzbar, hoch programmierbar und bietet eine Reihe wiederholbarer Prozesse und Parameter für wiederholbare Ergebnisse. Darüber hinaus verfügt es über erweiterte Sicherheitsfunktionen, um die höchste Sicherheit des Personals und der Umwelt zu gewährleisten. Alles in allem ist TEMPRESS TS81254 eine ideale Wahl für jede fortgeschrittene diffuse Anwendung.
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