Gebraucht THERMCO 10000 #9311638 zu verkaufen
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ID: 9311638
Wafergröße: 4"-6"
Diffusion furnace, 4"-6"
Process: LPCVD Si3N4, LTO and oxide
(4) Tubes
Loaders included
2nd PLY Tube and LTO tube non-functional.
THERMCO 10000 ist ein Diffusionsofen und Zubehör-Kit, das üblicherweise in industriellen Herstellungsprozessen wie der Herstellung von Legierungen mit Schutzschichten, der Halbleiterdotierung oder der Herstellung von Folien oder Schichten aus beliebigem Material verwendet wird. Das Gerät besteht aus einem Rohrofen, einer integrierten Steuerung, einem Prozessgaskasten und einem Gaskrümmer, der eine mehrfache Probenkontrolle ermöglicht. Der Rohrofen ist mit einer porösen Aluminiumoxidwand, die zur Wärmeübertragung verwendet wird, und einem Innenofen, der Molybdändisilizid-Heizelemente verwendet, um die Temperatur genau zu steuern, aufgebaut. Der Ofen misst 8 Zoll in der Länge mit einem Kristall Quarzglas Sichtfenster, um den Prozess zu überwachen. Der Quarz ist Temperatur bis 3000 ° C bewertet. Ein an der Tür angebrachter Transferarm ist verfügbar und ermöglicht das Be- und Entladen von Proben. Die Steuerung des Systems umfasst einen 5-stufigen Programmierungs-Touchscreen mit integriertem Einstellmonitor, zwei präzise E-Meter zur Messung des Temperatur- und Prozessgasflusses und einen integrierten Kommunikationsanschluss. Eine Alarmeinheit ist in den Controller integriert, um die Betreiber auf alle Prozessanomalien hinzuweisen. Der integrierte Prozessgaskasten verwendet zwei Regler und eine Zufuhr von Stickstoff oder Ammoniak durch den Verteilerkrümmer, die auf mehrere Proben oder Prozessschritte programmiert werden können. Teilenummern, die den richtigen Gasen entsprechen, müssen in die Steuerung eingegeben werden, bevor der Prozess eingeleitet werden kann. Der mitgelieferte Transferarm ist für die manuelle Handhabung von Quarz- oder Metallzylindern ausgelegt, um Proben sorgfältig in und aus dem Rohr zu behandeln. Alle Anschlüsse an die Maschine sind schnell getrennt und können innerhalb des Ofens platziert werden, um den Bedarf an zusätzlichem Platz zu reduzieren. Das komplette 10000-Werkzeug inklusive Zubehör ist für Anwendungen verfügbar, die höhere Temperaturen, Genauigkeit und schnelle Reaktionszeiten erfordern. Dieser Diffusionsofen und Zubehörsatz ist so konzipiert, dass er zuverlässig für mehrere Zyklen und Prozessschritte ausgeführt wird, ohne dass eine kompetente technische Unterstützung erforderlich ist.
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