Gebraucht THERMCO 4500 #59757 zu verkaufen

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ID: 59757
LPCVD horizontal diffusion furnaces, 5" Controller: Micro Vax 3100, Tube Computer: TMX 9000, Process: Nitride, HTO, Pyro, Anneal. Main Power: 460V/480V 60Hz, 3Phase de-installed 1989 vintage.
THERMCO 4500 ist ein Diffusionsofen und Zubehör, das entwickelt wurde, um eine zuverlässige, vakuumarme Hochtemperaturumgebung für Halbleiter- und Dünnschichtverarbeitungsanwendungen zu bieten und gleichzeitig eine erhöhte Sicherheit und langfristige Zuverlässigkeit zu gewährleisten. Dieser erweiterte Diffusionsofen ermöglicht die Konfiguration und den Betrieb hochkomplexer, mehrstufiger Module in einem einzigen System. 4500 verfügt über eine patentierte Edelstahl-Wärmekammer mit integrierten Quarzelementen mit bis zu 1200 ° C gleichmäßigem Temperaturprofil. Das System bietet eine höhere Reproduzierbarkeit und verringerte Temperaturungleichmäßigkeit im Vergleich zu herkömmlichen Glasrohröfen. Es bietet auch eine außergewöhnliche Temperaturgleichförmigkeit über den Temperaturbereich (1200 ° C +/-20 ° C). Darüber hinaus ermöglicht die Zweizonenrohrgehäusekonstruktion der THERMCO 4500 gleichzeitig einen direkten Zugang zur Wärmezone und Kühlzone. 4500 ist für die Verarbeitung von Dünnschicht- und Halbleiterscheiben mit einer Vielzahl optionaler Komponenten wie Quarztiegel, Quarzboot und Thermoschilde konzipiert. Seine fortschrittliche Steuerung bietet Präzisionsprozesssteuerung mit einer PID-Regelung Prozess Feedback und manuelle oder Auto-Temperatur-Modus. Die vollständig isolierte Kammer sorgt für einen hohen Wirkungsgrad und ein geringes thermisches Gefälle, was den Prozess wiederholbar und zuverlässig macht. Darüber hinaus umfasst THERMCO 4500 auch erweiterte Sicherheitsfunktionen wie einen Druckeingriffsschalter, einen Temperatureingriffsschalter und ein integriertes Flammenerkennungssystem. Das in 4500 verwendete Standardnetzteil ist 220/480V, 3-phasig 50/60Hz während die maximale Leistungsaufnahme 36KW ist. Die Innenabmessungen des Ofens betragen 400mm * 400mm * 500mm (L * W * H) und der empfohlene Gasdruck beträgt 5 Torr. Der erweiterte Controller verfügt über ein 8,4-Zoll-LCD-Display mit Windows 7-basierter Software zur Installation und Bedienung. Der Controller unterstützt auch Temperaturregelung, Programmierung, Datenerfassung und Fehlererkennung. Bei der Wartung beträgt das vorgeschlagene Wartungsintervall für THERMCO 4500 12 Monate oder 2000 Betriebsstunden. Es wurde entwickelt, um Präzisionstemperatur- und Druckkontrolle und einen zuverlässigen Diffusionsprozess in einer Vielzahl spezialisierter Materialbearbeitungsanwendungen wie der Herstellung von Solarzellen, fortschrittlichen Halbleiterchips und Dünnschichtbeschichtungen bereitzustellen. Die fortschrittlichen Sicherheitsmerkmale und die hohe Temperaturkapazität machen es zu einem der zuverlässigsten und vielseitigsten Diffusionssysteme für die Halbleiter- und Dünnschichtindustrie.
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