Gebraucht THERMCO 5200 #9076495 zu verkaufen

THERMCO 5200 Diffusionsofen ist eine leistungsstarke und zuverlässige Lösung zur thermischen Verarbeitung von Halbleitersubstraten. Dieser chargenartige Ofen ist speziell für die thermische Verarbeitung wie Dotieren, Nitridieren, Oxidation, thermische Oxidation und Glühen konzipiert. Der Ofen umfasst ein Antriebssystem, einen Temperaturregler und Heizelemente. Der Ofen hat eine maximale Temperatur von 1200 ° C und kann bis zu einem Druck von 200 Millibar arbeiten. Es bietet eine beeindruckende Aufheiz- und Abkühlgeschwindigkeit bei gleichmäßigem Temperaturprofil über dem Substratbereich. Die Struktur des Ofens ist mit hochwertigen und wärmebeständigen Materialien ausgelegt, während das äußere Gehäuse aus epoxidbeschichtetem Stahl besteht, der auch bei hoher Temperatur und Druckbelastung überleben kann. Die hochtemperaturbeständige Isolierung sowie eloxierte Aluminiumdichtungen an den Kammertüren und andere Hardware sorgen für maximale Wärmerückhaltung und Sicherheit. Die Heizelemente sind aus Graphit mit einer Molybdän/Wolfram-Legierung Wickel, die Gleichmäßigkeit und Festigkeit. Das Vakuumsystem von 5200 besteht aus einer Drehvakuumpumpe und einer Diffusionspumpe mit einer Vorvakuumpumpe. Die Rotationsvakuumpumpe evakuiert die Kammer von Atmosphärendruck bis auf 1 mbar. Die Vorvakuumpumpe evakuiert die Kammer von Atmosphärendruck auf 20 mbar. Die Diffusionspumpe evakuiert die Kammer von 20 mbar auf 10-8 mbar, während die Getterpumpe das Vakuum auch bei abgeschalteter Kammer aufrechterhält. Die fortschrittliche Ofensteuerung sorgt für eine genaue Temperaturregelung und ist mit einem LCD-Display und programmierbaren Steuerungen für verschiedene Chargenprozesse ausgelegt. THERMCO 5200 bietet eine Vielzahl von Zubehör für maßgeschneiderte Operationen, die speziell auf die Verarbeitungsbedürfnisse des Benutzers zugeschnitten sind. Dazu gehören Quarzwafer, manuelle und automatische Ladeplattformen, Inertgassteuerungssysteme, Temperatursensoren und eine Vielzahl von Schutzmöglichkeiten. Es kommt auch mit einem Touch-Panel-Controller, die Freisprechkammer Steuerung und Überwachung während des Bearbeitungszyklus ermöglicht. Zusammenfassend ist 5200 Diffusionsofen eine robuste und zuverlässige Lösung für die thermische Verarbeitung von Substraten. Sein Design ermöglicht eine gleichmäßige Temperaturverteilung und hohe Genauigkeit der Temperaturregelung, während die Kammertür und andere Hardware eine maximale Wärmerückhaltung gewährleisten. Es eignet sich für eine breite Palette von thermischen Verarbeitungsvorgängen und seine Konfiguration kann auf die spezifischen Bedürfnisse des Benutzers zugeschnitten werden.