Gebraucht TKK / TOKAI KONETSU KOGYA TRL300.300 #9351623 zu verkaufen

TKK TRL 300.300 ist ein hocheffizienter Diffusionsofen, der mit einer Vielzahl von Zubehörteilen ausgestattet ist, um eine wiederholbare und zuverlässige Probenbearbeitung zu ermöglichen. Der Ofen eignet sich für eine Vielzahl von Bedampfungs- und Ätzprozessen, die für die Herstellung von Halbleiterbauelementen erforderlich sind. Der KOGYA TRL300.300 ist ein vertikaler Mehrzonenofen, der die strengen Anforderungen an die Prozessentwicklung erfüllt. Es ist mit einer Quarzrohrheizung ausgestattet, die eine maximale Erwärmung bei gleichmäßiger Temperaturverteilung ermöglicht. Das Quarzrohr ermöglicht eine präzise Einstellung der Temperatur über die gesamte Länge der Heizzone. Die Heizzone ist weiter in drei Bereiche unterteilt. Jeder Bereich kann auf eine andere Temperatur eingestellt werden, was optimale Bedingungen für einen bestimmten Bearbeitungszyklus bietet. Der Ofen verfügt über eine integrierte Turbopumpe und eine druckgesteuerte Pumpausrüstung, die Rückströmung eliminiert, thermische Belastung minimiert und Wafer verschiedener Größen problemlos aufnehmen kann. Das Pumpsystem ist darauf ausgelegt, Druckschwankungen zu minimieren und während des gesamten Verarbeitungszyklus ein konsistentes Temperatur- und Druckprofil aufrechtzuerhalten. Eine Hochleistungs-Inertgasfördereinheit wird auf dem Ofen montiert, um eine gleichbleibende Prozessgenauigkeit und Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Die Gasfördermaschine arbeitet, um die erforderliche Gasreinheit und Strömungsgeschwindigkeit zu erhalten, und bietet ausreichende Verweilzeit für die Prozesskomponenten. Das Inertgasförderwerkzeug ist ferner mit einem Massenstromregler zur Regelung der Gasförderrate ausgestattet. Der Massenstromregler steuert die Strömungsgeschwindigkeit des Inertgaszufuhrrohres, um eine konsistente Prozesstemperatur aufrechtzuerhalten und die Inertgasverunreinigung zu begrenzen. Der Ofen ist auch mit einem Gaskastenmodul ausgestattet, das der Heizzone ein Stickstoffdeckgas zur Verfügung stellt, um eine Oxidation des Substrats zu verhindern. Das Stickstoffdeckengas wird unter einem eingestellten Druck gehalten, was die Sicherheit und Zuverlässigkeit des Betriebs gewährleistet. TOKAI KONETSU KOGYA TRL 300.300 ist ein hochwertiger, zuverlässiger und effizienter Ofen, der den anspruchsvollsten Produktionsanforderungen gerecht wird. Sein vielfältiges Zubehör und seine Eigenschaften machen es sehr geeignet für wiederholbare und zuverlässige Diffusionsverarbeitung.