Gebraucht TP SOLAR MD 246 #9279732 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
ID: 9279732
Weinlese: 2018
Fast firing IR furnace
Specifications:
Wafer transfer height (mm): 955 ± 35
No of lanes and pitch (mm): 2 Lanes @250 pitch (centre to lane centre), single tunnel
Wafer sizes, mono and multi crystalline (mm): MO (156 x 156), M2 (156.75 x 156.75)
Easily modified for M4 (161.7 x 161.7mm) by belt change
Belt speed range (mm/s): 50 to 170 preferred, 50 to 145 acceptable
Belt speed accuracy (%): ± 0.75
Belt type: Edge contact, NiCr Steel mesh
Wafer repeatability on belt start position to end position (mm): ± 4
Wafer breakage rate (%): 0.05 (~2.8 broken wafers per hour @ 125k wafers per day)
Roller diameter, entry / Exit (mm): 152 / 49 (excluding belt)
Feed direction: Left to right
Length (metres): 9.4 ± 0.1
Height furnace (metres): < 1.7
Height VOC oxidiser (metres): < 1.95
Weight per section (Kgs): Drying (6 legs) < 2100, firing (6 legs) < 1425, cooling (6 legs) < 1250
Functional:
Up time (%): > 98.5
Wafer to wafer temperature uniformity under full load (C): ± 5 (S 250 mm lane pitch and 180 mm pitch within each lane
VOC Oxidiser efficiency (%): > 98%
Wafer exit temperature: < 55°C
Throughput (Mean wafers/hour): > 5600 @ 180 mm wafer pitch
Maximum temperature firing: 1000°C
Maximum temperature drying: 400°C
MTBA (Minutes): > 20
MTTA (Minutes): < 0.5
MTBF (Hours): > 7700
MTTR (Minutes): s30
Power supply: 50/60 Hz, 380-480 VAC, 3 Phase
2018 vintage.
TP SOLAR MD 246 ist ein Qualitätsdiffusionsofen, der von LPE Equipment Incorporated entwickelt und hergestellt wurde. Mit einem hochmodernen Design verfügt der Diffusionsofen über eine hochwertige Konstruktion, um Wärmeverluste sowie Sicherheit und Benutzerfreundlichkeit zu minimieren. Das Gerät hat eine robuste Konstruktion und eine vielseitige Größe für große und kleine Wafer. Der Diffusionsofen kommt auch mit einer Reihe von Zubehör, die die Leistung und Effizienz weiter verbessern. MD 246 verwertet hohe Temperaturvakuumverbreitungstechnologie, um genaue Schichten des dünnen Films auf Oblaten abzulegen. Dadurch kann der Anwender beliebige dünne Filme wie Metalle, Oxide, Nitride, Fluoride und Poly-Silizium auf Substraten in stark wiederholbarer Weise abscheiden. Diese Hochtemperaturdiffusionstechnologie sorgt für höchste Wiederholbarkeit und ermöglicht eine präzise Kontrolle der Größe der Dünnschichtschicht. Um diese Funktionen zu unterstützen, kommt TP SOLAR MD 246 mit einer Reihe von Zubehör. Die wichtigsten davon sind die Kühlschlangen, die speziell zur Minimierung von Wärmeverlusten ausgelegt sind. Die Spulen sind so konzipiert, dass sie eine gleichmäßige Kühlung der Wafer ermöglichen und höchste Wiederholbarkeit gewährleisten. Der Diffusionsofen wird auch mit einem Bügel geliefert, um eine sichere Passform zu gewährleisten, und der Vakuumschlauch ermöglicht eine leckdichte Abdichtung, wenn er in einer Vakuumumgebung verwendet wird. Darüber hinaus liefert die Einheit ein Thermoelement, das genaue Temperaturmessungen in der Diffusionskammer ermöglicht. Neben dem wesentlichen Zubehör wird das Gerät auch mit einer Auswahl an optionalem Zubehör geliefert. Dazu gehören Heizungen, Verdampfer und Kühler, die jeweils der Diffusionskammer weitere Vielseitigkeit verleihen. Darüber hinaus verfügt das Gerät auch über eine Software, die die vollständige Steuerung des Geräts vom PC aus ermöglicht, so dass der Benutzer die Temperatur und andere Größen während des Diffusionsprozesses überwachen und steuern kann. Insgesamt ist MD 246 ein ausgezeichneter Diffusionsofen, der eine Reihe von Funktionen bietet. Mit seinem robusten Aufbau, hoher Temperaturvakuumverbreitungstechnologie und einer Reihe des Zubehörs, sichert die Einheit den Höchststand der Wiederholbarkeit und Genauigkeit, während sie Sicherheit und Bequemlichkeit des Gebrauches bietet.
Es liegen noch keine Bewertungen vor