Gebraucht ULVAC Rise 300 #293608977 zu verkaufen
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ID: 293608977
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2014
System, 12"
Process: DIFF
2014 vintage.
ULVAC Rise 300 (Ultra Low Vacuum Access Chamber) ist ein fortschrittlicher Diffusionsofen und Zubehör von ULVAC Technologies, Inc. Es bietet eine präzise Temperaturregelung, präzise Vakuumqualität und die Fähigkeit, große Substrate für eine Vielzahl von Anwendungen in der Halbleiterindustrie zu verarbeiten. Rise 300 verfügt über vier horizontale Reaktionszonen und eine vertikale Reaktionszone in einem umweltgerechten Behälter für präzise Temperaturgleichmäßigkeit. Die Behältergröße beträgt 16 "x 18" x 24 "und kann bis zu 2,5" x 4 "Substrate handhaben. Die maximale Temperatur der vier Reaktionszonen beträgt 1600 ° C, und die tatsächliche höchste Temperatur jeder Zone wird kontinuierlich von TC/RTD-Sensoren überwacht, die unsichere Zustände verhindern. Der Hochleistungsquarzdeckel wurde entwickelt, um Strahlungsverluste zu beseitigen und bietet eine präzise Temperaturregelung. ULVAC Rise 300 bietet eine präzise Vakuumqualität bis zu 0,0033 Pa. Es ist mit einer angepassten Ölpumpe und Turbomolekularpumpe gebaut, die das Erreichen hoher Vakuumwerte deutlich schneller als jeder andere Diffusionsofen ermöglicht. Die Entlüftungsventilkonstruktion verhindert Vakuumverlust und minimiert Verschmutzungen durch Aufrechterhaltung eines hohen Vakuumniveaus während der Verarbeitung. Rise 300 ist mit ULVAC proprietärer Fire & Forget Technologie ausgestattet. Dadurch kann das Gerät eine Reihe von Operationen mit einem Setup und ohne manuellen Eingriff für bis zu 72 Stunden durchführen. Es ermöglicht auch einen kontinuierlichen Ablauf entweder eines einzelnen Prozesses oder von bis zu sechs Prozessen, die sich in beliebiger Reihenfolge oder Kombination wiederholen können, so dass Flexibilität an die Prozessanforderungen angepasst werden kann. ULVAC Rise 300 verfügt über ein benutzerfreundliches LCD-Bedienfeld, das eine einfache Programmierung und Verwaltung der verschiedenen Prozesse von einem Ort aus ermöglicht. Es hat auch ein eingebautes optisches Emissionsspektrometer, das die Probendurchlaufzeit erhöht. Darüber hinaus ist Rise 300 mit allen neuesten Sicherheitsfunktionen ausgestattet, um die Sicherheit des Prozesses zu gewährleisten und die Lebensdauer des Geräts zu verlängern. Es ist auch konform mit Umweltvorschriften, so dass es eine ideale Wahl für jede Halbleiterchip-Produktionsanlage.
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