Gebraucht ULVAC V8-100LC #9373098 zu verkaufen
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ID: 9373098
Wafergröße: 6"
Weinlese: 2001
Vertical furnace, 6"
Process: D-Poly
Gases: N2, SiH4, Ph3, ClF3
Temperature: 800°C
Pressure: 130 Pa
Speed: 100 mm/min
(120) Wafer sheets
2001 vintage.
ULVAC V8-100LC ist ein vielseitiges Diffusionsofen & Zubehör für professionelle Glüh-, Diffusions- und Lötanwendungen für die Halbleiterindustrie. Dieses Diffusionsofen & Zubehörsystem umfasst 8-Zoll-ID-Öfen mit einem 100-mm-Durchmesser-Kalzinierungsrohr sowie Temperaturmessung, Temperaturregelung und Wärmedämmsysteme. Zu den Merkmalen dieser Einheit gehört eine automatische Strömungssteuerung, die es dem Bediener ermöglicht, den ionisierten Gasstrom automatisch auf der Grundlage der Temperaturänderungen der Reaktionswanne im Ofen einzustellen. Diese Ofenmaschine verfügt auch über einen digitalen PID-Temperaturregler zur Optimierung der Temperaturregelung und genauen Regelung der Prozessparameter für Wiederholbarkeit und Genauigkeit. Darüber hinaus verfügt dieser Diffusionsofen über verschiedene Isolier- und Hochvakuumpresstechnologien, die eine maximale Effizienz beim Diffundieren oder Glühen von Materialien bieten. Sicherheitstechnisch verfügt V8-100LC Diffusionsofen über ein automatisiertes Notabschaltwerkzeug, das bei Übertemperatur oder Überdruck die Ofenstromversorgung automatisch abschaltet. Das Asset ist auch mit mehreren Sensoren und Warnmeldern ausgestattet, so dass ein Bediener jederzeit über mögliche Probleme informiert sein kann. ULVAC V8-100LC Diffusionsofen & Zubehörmodell verfügt auch über einen geringen Wärmedämmungsverlust, so dass es in einer Vielzahl von Anwendungen verwendet werden kann, ohne auf Leistung zu verzichten. Diese Art des geringen thermischen Verlustes wird durch eine Kombination des verwendeten Isoliermaterials und der effizienten Auslegung der Ofenbaugruppe erreicht. Der geringe thermische Verlust führt auch zu einer verbesserten Energieeffizienz im Betrieb. V8-100LC Diffusionsofen & Zubehör ist auch für einfache Wartung und Wartung konzipiert. Zum Beispiel können Filter schnell gewechselt und überprüft und der Ofenkörper für einfachen Zugang und Wartung in Abschnitte zerlegt werden. Auch das Ofensystem ist aufgrund seines geringen Wärmedämmungsverlusts vibrationsabsorbierend und bietet zuverlässige Ergebnisse für wiederholbare Prozesse. Insgesamt ist ULVAC V8-100LC eine ideale Diffusionsofen- und Zubehöreinheit für Anwendungen in der Halbleiterindustrie. Es bietet eine genaue Temperaturregelung und -regulierung, eine breite Palette von Sicherheitsmerkmalen und einen geringen Wärmedämmungsverlust für maximale Leistungseffizienz. Mit seinem vielseitigen Design und der einfachen Wartung ist dieser Diffusionsofen und seine Zubehörmaschine ideal für eine Vielzahl von Glüh- und Diffusionsanwendungen.
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