Gebraucht VARIAN 200SJ #9269475 zu verkaufen

ID: 9269475
Wafergröße: 6"
Ion implanter, 6".
VARIAN 200SJ ist ein hocheffizienter Diffusionsofen für die Verarbeitung verschiedener Materialarten. Der Ofen verfügt über einen leistungsstarken 48 kW kreuzungsgesteuerten Löschmotor für schnellere Rampenraten und geringere thermische Steigungen, was eine höhere Reproduzierbarkeit ermöglicht. Dieser Hochleistungsofen verfügt über ein einstellbares Quarzreaktionsrohr von 1100 Grad Celsius, was einen effizienten Betrieb unter verschiedensten Bedingungen ermöglicht. Mit acht Heizzonen kann der Ofen Temperaturen bis zu 1200 Grad Celsius für eine schnelle und präzise Verarbeitung erreichen. Neben dem Diffusionsofen umfasst 200SJ auch mehrere Zubehörteile für verbesserte Prozessfähigkeiten. Dazu gehören ein leistungsfähiges Seitenarm-Trockengaszuführsystem, ein 200 cm ³/min Niederdruckmassenspektrometer, ein Feinabstimmgasmischer und ein Quarzgaseinspritzrohr. Das Massenspektrometer ermöglicht eine höhere Kontrolle und Genauigkeit bei der Überwachung der Gaszusammensetzung, während der Gasmischer hilft, eine präzise und konsistente Gastemperatur und Druckverteilung aufrechtzuerhalten. Dadurch wird die Homogenität von Diffusionszone und Substrat gewährleistet. Das Quarzeinspritzrohr und pneumatische Gasdruckweichen erleichtern zudem wiederholbare Gasdurchflussraten und eine präzise Positionsregelung für die lokalisierte Verarbeitung. Die Weichen ermöglichen eine präzise Steuerung des Gasdrucks und der Strömungsgeschwindigkeiten beim Abschrecken sowie beim Abkühlen und vor dem Be- oder Entladen von Substraten. VARIAN 200SJ bietet auch erweiterte Computersteuerungsfunktionen mit einer grafischen Benutzeroberfläche (GUI), die intuitiv und einfach zu bedienen ist. Damit können Benutzer Prozessrezepte schnell speichern und zurückrufen und die Leistung des Ofens in Echtzeit überwachen. Insgesamt ist 200SJ ein ausgezeichneter Diffusionsofen für die Verarbeitung verschiedener Arten von Materialien, mit fortschrittlichen Funktionen und Zubehör für verbesserte Prozessfähigkeiten. Dies macht es zu einer guten Wahl für Anwender, die eine präzise, wiederholbare Verarbeitung bei einer Vielzahl von Temperaturen suchen.
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