Gebraucht VEECO LSA 100 #293687430 zu verkaufen
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ID: 293687430
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
System, 12"
Frontend module
Electrical rack
Cassette to cassette handling
Optical output module
ROFIN DC035 Laser
Laser type: Carbon monoxide laser, 5000 W
(2) AFFINITY Heat exchanger, 25 kW
SEMI / JEITA Wafer thickness and flatness
Wafer type: Doped, Un-doped and SOI Substrate
Linear motor drive
Hot chuck
Damper
Transformer: 100 V
(2) Transformers: 400 V
Gases: CO 6%, He 94%, N2, CO2, Xe
Linear scan with fixed laser
Air ambient
Temperature: 1150°C-1350°C
LSA Chamber (DSI) with chemical filter option
Signal light tower
Water leakage sensor with pan
Electric leakage breaker
Touch screen monitor
Flat panel display
Graphical user interface
PC Controller
EBARA 25AAF202 Cooling water circulation pump missing
Non-functional parts:
Plate window
Mount blades (Left and right)
(2) Chillers (25 kW, 50 kW)
2006 vintage.
VEECO LSA 100 ist eine erstklassige Diffusionsofen-Ausrüstung für die Hochleistungs-Halbleiterverarbeitung. Dieses fortschrittliche System kombiniert modernste Technologie mit Präzisionskontrolle, um in einer Vielzahl von Anwendungen hervorragende Ergebnisse zu erzielen. LSA 100 verfügt über eine robuste Konstruktion und eine kompakte Stellfläche und eignet sich somit sowohl für die Forschung als auch für die Produktion. Das Gerät ist mit einem hochwertigen Quarzrohr ausgestattet, das eine gleichmäßige Temperaturverteilung und einen zuverlässigen Betrieb gewährleistet. Das Rohr wird durch eine Reihe von Heizelementen beheizt, die von einer ausgeklügelten Temperaturmanagementmaschine gesteuert werden, um präzise thermische Profile zu erzielen. Eines der Hauptmerkmale von VEECO LSA 100 ist sein fortschrittliches Gaslieferwerkzeug. Die Anlage ist in der Lage, eine breite Palette von Prozessgasen mit hoher Reinheit und Präzision zu liefern. Dadurch wird sichergestellt, dass die gewünschten chemischen Reaktionen innerhalb des Schlauches stattfinden, was zu einer gleichmäßigen und qualitativ hochwertigen Filmabscheidung führt. LSA 100 ist zudem mit einem innovativen Prozesssteuerungsmodell ausgestattet, mit dem Anwender den Abscheideprozess problemlos programmieren und überwachen können. Das Gerät verfügt über eine benutzerfreundliche Schnittstelle, die Echtzeitdaten zu Temperatur, Druck, Gasdurchflussraten und anderen kritischen Parametern anzeigt. Benutzer können ganz einfach benutzerdefinierte Rezepte einrichten, die Prozessleistung überwachen und Anpassungen in Echtzeit vornehmen, um Ergebnisse zu optimieren. Neben der Haupt-Diffusionsofen-Einheit kommt VEECO LSA 100 mit einer Reihe von Zubehör, die seine Funktionalität und Vielseitigkeit verbessern. Dazu gehören Gasstromregler, Vakuumpumpen, Massenstromregler und andere Komponenten, die für die Halbleiterverarbeitung unerlässlich sind. Das System ist auch mit einer Vielzahl von Wafergrößen und Materialien kompatibel und eignet sich somit für eine Vielzahl von Anwendungen. LSA 100 wurde entwickelt, um die anspruchsvollen Anforderungen der Halbleiterindustrie zu erfüllen, wo Präzision und Zuverlässigkeit an erster Stelle stehen. Die Einheit ist in der Lage, eine Vielzahl von Prozessen durchzuführen, einschließlich Oxidation, Glühen, Dotieren und mehr. Unabhängig davon, ob Sie forschen oder fortschrittliche Halbleiterbauelemente herstellen, bietet VEECO LSA 100 die Leistung und Kontrolle, die Sie benötigen, um hervorragende Ergebnisse zu erzielen. Insgesamt ist LSA 100 eine hochmoderne Diffusionsofenmaschine, die außergewöhnliche Leistung, Zuverlässigkeit und Kontrolle bietet. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen, der benutzerfreundlichen Oberfläche und dem vielseitigen Zubehör ist dieses Tool die ideale Wahl für Halbleiterverarbeitungsanwendungen. Ob Sie neue Technologien entwickeln oder bestehende Prozesse optimieren möchten, VEECO LSA 100 ist eine vertrauenswürdige Lösung, die überlegene Ergebnisse liefert.
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