Gebraucht GAERTNER L2W26D.488 #9224475 zu verkaufen
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ID: 9224475
with Uniphase laser power supply
2114-10SL Melles Griot
Dayton 2C915A shaded pole blower.
GAERTNER L2W26D.488 ist ein Weißlicht-Scanning-Ellipsometer-Gerät zur Dünnschichtmessung und -charakterisierung. Dieses System bietet zwischen einem und drei Wellenlängenkanälen sowie die Möglichkeit, die Strahlpolarisation einzustellen, um die erforderlichen Messungen genau zu erhalten. Die L2W26D.488 kann zwischen 0 ° und 360 ° mit einem azimutalen Scanbereich von +/-35 ° messen, der eine große Flexibilität in Forschung und Produktion bietet. Dieses Ellipsometer arbeitet mit der Wollaston Prism-Einheit, einem optischen Element, das einen Lichtstrahl in zwei linear polarisierte Komponenten im rechten Winkel zueinander teilt. Die L2W26D verwendet eine schienengebundene Prismenmaschine, gekoppelt mit einem drehbaren Polarisator, der entweder auf eine s-Polarisation oder p-Polarisation einstellbar ist. Die polarisierten Strahlen werden auf die Probe gerichtet, wo sie eine Phasenverschiebung von 90 ° voneinander erfahren. Das Werkzeug bestimmt dann das Verhältnis der Phasenverschiebungswinkel, um den minimalen und maximalen Wert auszuwählen, und schließlich wird die Verhältnismessung berechnet. GAERTNER L2W26D.488 bietet hochauflösende Messungen mit einer Wiederholbarkeit von 6 Bogensekunden. Diese Genauigkeit wird mit einem Atom-Optik-Monochromator weiter verbessert, wodurch eine kontinuierliche Spektralsteuerung gewährleistet ist und die manuelle Umschaltung von Filtern überflüssig wird. Das Gerät kommt auch mit Helium Neon (HE-NE) und Dioden-Laser-Optionen, bietet Anwendern die Wahl zwischen einer Reihe von verschiedenen Lichtquellen Wellenlängen. Das Ellipsometer verfügt über eine integrierte SOPHIST S2-Software, mit der der Benutzer die Daten analysieren, Berichte erstellen und Ergebnisse speichern kann. Darüber hinaus bietet es eine automatisierte Filmbildgebung und Dickenberechnungen Feature. So können Wafer-Maps schnell visualisiert und Dickendaten für bis zu 32 Wafer-Sites gleichzeitig bereitgestellt werden. Das L2W26D.488 eignet sich hervorragend für Anwendungen von Produktionsumgebungen bis hin zu Forschungslabors. Das breite Spektrum an Funktionen wie die einstellbare Polarisation, variable Abtastwinkel, eine große Auswahl an Lichtquellen und integrierte Software machen GAERTNER L2W26D.488 zu einer ausgezeichneten Wahl für alle Arten von Dünnschichtmess- und Charakterisierungsaufgaben.
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