Gebraucht RUDOLPH AUTO EL #9296295 zu verkaufen

RUDOLPH AUTO EL
Hersteller
RUDOLPH
Modell
AUTO EL
ID: 9296295
Wafergröße: 6"
Ellipsometer, 6".
RUDOLPH AUTO EL ist ein hochmodernes Ellipsometer, das hochpräzise Messungen von Dünnschichtschichten auf einer Vielzahl von Oberflächen ermöglicht. RUDOLPH AUTOEL kann Schichtdicken aus nahezu jedem Material wie Dielektrika, anorganischen Materialien, leitfähigen Materialien usw. genau messen. Dieses Werkzeug setzt auf optische Ellipsometrie, eine optische Technik zur Messung der optischen Eigenschaften von Materialien. Sie basiert auf Eigenschaften der Lichtstreuung bei Reflexion oder Transmission eines Folienmaterials, wobei ein Verfahren zur Profilierung der Dicke und optischen Konstanten einer ausgewählten Schicht vorgesehen ist. AUTO EL bietet erweiterte Ellipsometriemessungen mit mehreren Winkeln mit einem einstellbaren Einfallswinkel von 45-90 Grad in 10-Grad-Schritten. Dadurch kann der Anwender optisch kalibrierte Spektren der reflektierten Intensitäten sammeln. Die Probe wird mit einem einzigen, leistungsschwachen HeNe-Laserstrahl beleuchtet, der eine elektrische und thermische Erwärmung vermeidet, die die optischen Eigenschaften einer Probe verändern kann. Eine In-Ebene-Rotation der Probe verbessert die Messung beliebiger Dünnschichtmaterialien, so dass mehrere Einfallswinkel für eine genauere Analyse in Betracht gezogen werden können. Es gibt auch eine absolute Winkelmessung, die keine Winkelkalibrierung erforderlich macht. AUTOEL verwendet einen Flüssigkristalllichtmodulator, um den Einfallswinkel und die Polarisation zu modifizieren, was eine einfache Winkelabtastung und Polarisation ermöglicht. Die eingebettete Software auf RUDOLPH AUTO EL ermöglicht es Benutzern, schnell mehrere optomechanische Parameter wie Lichtfluss, Polarisation, Einfallswinkel und Modulationsfrequenz einzustellen. Es ist in der Lage, jedes Eingangsstrahlergebnis hinsichtlich optischer Eigenschaften und Schichtdicken zu interpretieren. Die Dateninterpretationsmöglichkeiten dieses Ellipsometers umfassen eine Reihe fortgeschrittener Algorithmen, um physikalische Einflüsse zu korrigieren. RUDOLPH AUTOEL ist ein äußerst zuverlässiges und vielseitiges Werkzeug zur Überwachung dünner optischer Schichten im Labor. Es ermöglicht Anwendern, großflächige Dünnschichtmessungen mit genauen und reproduzierbaren Daten durchzuführen und gleichzeitig eine viel breitere Palette verfügbarer Parameter zur Untersuchung bereitzustellen. AUTO EL ist ein ideales Werkzeug zur Präzisionsanalyse von Metall- und dielektrischen Dünnschichtschichten und deren Anwendung für viele Bereiche wie Halbleitermesstechnik, Dünnschichtanalyse und optische Materialforschung.
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