Gebraucht RUDOLPH FE IV #293830949 zu verkaufen
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ID: 293830949
Weinlese: 1995
Thickness measurement system
Process capability: 0.11µm, 0.13 µm, 0.15 µm, 0.18 µm, 0.25 µm, 0.35 µm
Light source:
HeNe laser: 632.8 nm
Laser diode: 780 nm
Spot size:
Test site: 12x24 µm
De-skew: 125 µm
Site by site: 50 µm
Pattern recognition:
Optional pattern recognition
Edge / gray scale detection
Manual / auto de-skew
Reteach
Wafer handling:
3-Axis robot
(3) cassettes: 100 mm to 200 mm
Pre-aligner:
Virtual flat / notch finder
X, Y Centering: ±50 μm
Theta: ±0.1°
De-skew: ±5 µm
Stage:
Accuracy: 7 µm over 200 mm
Repeatability: ±1 µm
1995 vintage.
RUDOLPH FE IV ist ein elliptischer Polarisator, auch Ellipsometer genannt, der ein Werkzeug zur Messung der optischen Eigenschaften eines Materials ist. RUDOLPH FE-IV ist ein genaues und zuverlässiges Ellipsometer, das für eine Vielzahl von Messungen wie Filmdicke, Brechungsindizes, Absorption und Reflexion, Oberflächenrauhigkeit, Dielektrizitätskonstanten und Doppelbrechung verwendet wird. Es bietet auch eine Vielzahl von Streu-, spektroskopischen und bildgebenden Funktionen, um seine Anwendungen weiter auszubauen. Das Gerät besteht aus drei Hauptkomponenten. Die erste ist ein Monochromator, der ein schmales Lichtband auswählt, um mit der Probe zu interagieren. Diese spektral aufgelöste Lichtquelle wird dann von der Oberfläche der Probe reflektiert und das teilgebrochene Licht dann durch ein Wollaston-Prisma geleitet, das den Strahl in zwei Komponenten aufteilt. Sie werden dann auf einen Detektor fokussiert, wo die Intensität jedes Strahls aufgezeichnet wird. Aus diesen Daten kann das Ellipsometer die optischen Eigenschaften des Probenmaterials bestimmen. FE IV ist auf eine breite Palette von Probenmaterialien anwendbar, von Metallen und Halbleitern bis hin zu Glas und Polymeren. Es verfügt über einen modularen Aufbau, der eine schnelle und einfache Einrichtung ermöglicht, so dass es für den Einsatz im Labor oder für feldbasierte Messungen geeignet ist. FE-IV ist auch mit automatisiertem Probenscannen ausgestattet, was schnellere und effizientere Messungen ermöglicht. RUDOLPH FE IV ist in der Lage, eine breite Palette von Messungen, von Winkelverteilung und Topographie, Dicke, Folieneigenschaften und Streuung. RUDOLPH FE-IV kann auch zur Bildgebung verwendet werden. Mit einem Mikroskop und einem optischen Adapter kann das Instrument zur vertieften Abbildung und Analyse von Oberflächen eingesetzt werden, einschließlich Rauheit und Unvollkommenheiten, die mit bloßem Auge nicht zu sehen sind. Mit seinen leistungsstarken bildgebenden Fähigkeiten kann FE IV verwendet werden, um ein detaillierteres Verständnis der optischen Eigenschaften eines Materials zu erlangen. Die intuitive Software-Plattform von FE-IV macht es einfach zu konfigurieren und zu bedienen. Es kann verwendet werden, um laufende Experimente zu überwachen, Daten zu sammeln und Ergebnisse zu interpretieren. Die Software ermöglicht es Benutzern auch, Parameter und Einstellungen anzupassen, um ihre Messungen an die jeweilige Anwendung anzupassen. RUDOLPH FE IV ist ein fortschrittliches Ellipsometer, das sich ideal für eine Vielzahl von Messungen und Anwendungen eignet. Mit seinen leistungsstarken optischen und bildgebenden Funktionen kann das Instrument helfen, die optischen Eigenschaften von Materialien schnell und genau zu messen und zu analysieren.
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