Gebraucht RUDOLPH FE VII #293830957 zu verkaufen

Hersteller
RUDOLPH
Modell
FE VII
ID: 293830957
Weinlese: 1999
Thickness measurement system Process capability: 11 µm, 13 µm, 15 µm, 18 um, 25 µm, 35 µm Light source: HeNe laser: 632.8 nm Laser diode: 780 nm Spot size: Test site: 12x24 µm De-skew: 125 µm Site by site: 50 µm Pattern recognition: Optional pattern recognition Edge / gray scale detection Manual / auto de-skew Reteach Wafer handling: 3-Axis robots (3) cassettes: 100mm to 200mm Pre-aligner: Virtual flat / notch finder X, Y Centering: ±50 μm Theta: ±0.1° De-skew: ±5 μm Stage: Accuracy: 7 μm over 200mm Repeatability: ±1 µm 1996 vintage.
RUDOLPH FE VII ist ein modernes Ellipsometer zur Messung der optischen Eigenschaften von dünnen Folien und Mehrschichtstapeln. Es ist ein vielseitiges Werkzeug für Dünnschichtcharakterisierung, Produktionssteuerung, Solarzellenforschung und Qualitätskontrolle sowie für F&E in Dünnschichtabscheidung. RUDOLPH FEVII ist mit einem hochauflösenden Bildgebungssystem mit einem optischen Kopf und einer hochpräzisen XY-Stufe ausgestattet. Dies in Kombination mit einer hellen LED-Lichtquelle ermöglicht es, Dünnschichteigenschaften in jedem Einfallswinkel zu messen. Die Dünnschichteigenschaften werden direkt aus den Daten des Ellipsometers gewonnen. FE-VII verwendet eine einzigartige Single-Source-Dual-Detektor-Methode, um die Intensität des auf der Oberfläche einer Probe reflektierten Lichts gleichzeitig in zwei verschiedenen Einfallswinkeln zu messen. Mit diesem Verfahren können der Brechungsindex, die Dicke und die optischen Konstanten einer Probe leicht bestimmt werden. Darüber hinaus bietet das Ellipsometer ein breites Anwendungsspektrum wie Dünnschicht- und Großflächencharakterisierung, Solarzellenanalyse und optische Wafer-Pegelmessungen. FEVII kann für eine Vielzahl von Dünnschichtmaterialien verwendet werden und reicht von sichtbaren bis zu ferninfraroten (NIR-NIR) Wellenlängen. Der Dünnschichtdickenbereich ist von 0 bis 5000nm, und die Auflösung ist so niedrig wie 0.1nm. Weiterhin können auch Messungen für eine Vielzahl komplexer optischer Koeffizienten von Dünnschichten und Mehrschichtstapeln durchgeführt werden. Neben dem innovativen Dual-Detektor-Design aus einer Hand verfügt FE VII über eine temperaturgesteuerte XY-Stufe, die temperaturabhängige Messungen ermöglicht. Der optische Aufbau kompensiert Umwelteinflüsse wie thermische Drifts und minimiert den Einfluss von Probenfehlstellungen. RUDOLPH FE-VII ist das perfekte Werkzeug zur Erforschung und Entwicklung hochpräziser Produktionsprozesse oder zur Qualitätskontrolle und Diagnose von optoelektronischen Geräten mit Dünnschichtschichten. Es ist eine benutzerfreundliche und genaue Lösung zur Messung optischer Konstanten und Dünnschichteigenschaften.
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