Gebraucht RUDOLPH FOCUS FE III #9188629 zu verkaufen

RUDOLPH FOCUS FE III
Hersteller
RUDOLPH
Modell
FOCUS FE III
ID: 9188629
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2003
Ellipsometer, 8" 2003 vintage.
RUDOLPH FOCUS FE III ist ein Ellipsometer von RUDOLPH Technologies. Es handelt sich um eine hochpräzise Vorrichtung zur Messung von Dünnschichtdicke und optischen Konstanten wie Brechungsindex und Extinktionskoeffizient. Es verwendet eine Kombination aus polarisierter Lichtreflexion von einer Probe und Ellipsometrie, um diese Materialien mit besserer Präzision zu messen und zu analysieren. FOCUS FE III Ellipsometer ist ein Instrument, das die kombinierte Theorie der polarisierten Lichtreflexion und Ellipsometrie für hochpräzise Messungen verwendet. Diese Vorrichtung umfasst eine Lichtquelle, einen Lichtmodulator, eine Probenstufe, einen Polarisationsregler sowie optische und elektronische Detektoren. Der polarisierte Lichtstrahl wird von der Lichtquelle erzeugt und von einer rotierenden Halbwellenplatte moduliert. Das Licht wird dann von der Probe reflektiert und von den Detektoren detektiert und vom Polarisationsregler analysiert. Polarisiertes Licht wird verwendet, da es bei der Analyse dünner Filme mehr Informationen als unpolarisiertes Licht liefern kann. Die Probenstufe dient zur Positionierung und Montage der Probe. Ein Infrarotstrahl und Lasersensoren dienen dabei der Detektion von Probenpositionen und der entsprechenden Einstellung des optischen Weges. Auf diese Weise kann RUDOLPH FOCUS FE III den Einfallswinkel und die Polarisationsmodulation genau messen. Der Polarisationsregler ist eine optische Einrichtung, die die Polarisation des Lichtstrahls filtert, einstellt und misst. Es verwendet eine Viertelwellenplatte und einen Analysator, um den Polarisationszustand des reflektierten Lichts zu messen. Die optischen und elektronischen Detektoren messen die Wirkung der Probe auf das polarisierte Licht. Diese Informationen werden vom optischen Teil des Geräts zur Bestimmung von Messungen wie Filmdicke, Brechungsindex und Extinktionskoeffizient verwendet. Insgesamt ist FOCUS FE III ein hochpräzises und genaues Gerät, mit dem Dünnschichtdicke und optische Konstanten wie Brechungsindex und Extinktionskoeffizient gemessen werden. Mit seiner Kombination aus polarisierter Lichtreflexion und Ellipsometrie kann er dünne Filme schnell und präzise messen.
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