Gebraucht RUDOLPH S3000A #9389594 zu verkaufen

RUDOLPH S3000A
Hersteller
RUDOLPH
Modell
S3000A
ID: 9389594
Thickness measurement system.
RUDOLPH S3000A Ellipsometer ist eine universelle, mehrwellige optische Messeinrichtung zur Inspektion von Dünnschichtstapeln auf Halbleiterscheiben. Das System wurde entwickelt, um sowohl Vollfeld- als auch lokalisierte optische Parameter zu messen. Es bietet zuverlässige, wiederholbare Messungen mit hoher Genauigkeit und Wiederholbarkeit. RUDOLPH S 3000 A enthält eine Lichtquelle, eine optische Sammeloptik und einen Fotodiodendetektor mit vier Quadranten zur Messung der komplexen optischen Reaktion der Probe. Diese Technik ist als Ellipsometrie bekannt. Die Einheit ist in der Lage, das Full Width Half Maximum (FWHM) der polarisationsunabhängigen Transmissions- und Reflexionsspektren der Probe mit einem Wellenlängenbereich von 350-215 nm zu messen. S3000A verwendet einen Spinnpolarisatorkopf, der über 7000 optische Komponenten enthält, die das Licht modulieren, so dass der Benutzer die Änderungen in der Intensität und Polarisation des Lichts messen kann. Die Maschine enthält auch eine integrierte Kalibrierroutine, die eine genaue und wiederholbare Ablesung gewährleistet. S 3000 A umfasst eine umfassende Reihe von Softwarepaketen, die leistungsstarke Analyse- und Datenverarbeitungsfunktionen kombinieren. Mit seiner Software kann RUDOLPH S3000A dünne Filme schnell und präzise analysieren. Benutzer können Daten in einem internen Speicher oder einem externen Datenspeicher speichern. Die Analyseberichte können dann einfach zur weiteren Untersuchung an einen Computer übertragen werden. RUDOLPH S 3000 A ist für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet und ein unschätzbares Werkzeug in der Halbleiterindustrie. Es eignet sich gut zur Charakterisierung von Dünnschichtstapeln wie Oxiden, Nitriden und Metallen. Das Tool ermöglicht es Benutzern, detaillierte Analyseberichte zu erstellen, die zur Optimierung von Geräteparametern nützlich sind. S3000A ist einfach einzurichten, zu bedienen und zu warten. Es ist zuverlässig, mit einer geringen Wartungsdauer Betriebsdauer. Hochgenaue und wiederholbare Leistung machen S 3000 A zu einer außergewöhnlichen Wahl für die Charakterisierung von Dünnschichtstapeln. RUDOLPH S3000A ist für alle seine Fähigkeiten eine kostengünstige Lösung zur Durchführung von Ellipsometriemessungen.
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