Gebraucht RUDOLPH S3000S #9122476 zu verkaufen

RUDOLPH S3000S
Hersteller
RUDOLPH
Modell
S3000S
ID: 9122476
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2010
Focused beam ellipsometer, 12" Wavelength-stabilized diode laser Magnification microscope Visible reflecto meter Windows operating system SEMI-compliant E-95 software RAID 1 mirror hard disk, (1) GB RAM memory 3 GHz Dual Core MPU Metrology module user interface High resolution flat-panel display Keyboard Pointing device Metrology module-end EMO button Automation features: EFEM with high-speed Yaskawa dual-arm robot Ultra-clean HEPA air filtering mini environment Amber interior lighting in the EFEM EMO to the right and left of the loadports SEMI F47 compliant power-sag protection Metrology optics and hardware options: Wavelength stabilized 923nm DFB laser Temperature controlled optics Software Options: Cognex patMax pattern recognition FabConnect software: HSMS, GEM with trace data Statistical data analysis, graphing and display software Xport Automation platform options: Ionizer kit for dual-loadport EFEM Signal Tower (5-color: R, Y, G, B, Clear) AdvanTag 9100 Carrier ID reader E84 Controller required for TDK + Hokuyo 2010 vintage.
RUDOLPH S3000S ist ein vielseitiges und benutzerfreundliches Ellipsometer. Ellipsometer messen die Änderung des Polarisationszustandes eines Lichtstrahls nach Reflexion oder Transmission von einer Probenoberfläche. Diese Informationen können verwendet werden, um die Dicke verschiedener dünner Filme zu messen sowie den Brechungsindex, den Extinktionskoeffizienten und die Oberflächenmorphologie einer Probe zu bestimmen. RUDOLPH S 3000 S ist ein optisches Ellipsometer, das durch Beleuchtung der Probenoberfläche mit sehr niedriger Intensität, monochromatischem polarisiertem Licht und Messung der Polarisationsänderung arbeitet, während das Licht zurückreflektiert wird. Dieses Licht wird vor und nach Wechselwirkung mit der Probe in vier Kanäle aufgeteilt. Durch Vergleich der simulierten theoretischen Vorhersagen mit dem gemessenen Polarisationszustand können die Filmeigenschaften genau bestimmt werden. S3000S enthält auch das patentierte Fast Kinetics Utility, das Mehrwinkelmessungen an schnell wechselnden Filmsystemen mit nur einem Messaufbau ermöglicht. S 3000 S ist in der Lage, mehrere Filmparameter, einschließlich Dicke, Brechungsindex, optische Anisotropie, Absorptionskoeffizient und die Oberflächenmorphologie der Probe, gleichzeitig zu messen. Es kann zuverlässig so dünne Filme wie ein paar Angströme und eine breite Palette von Probengrößen messen. RUDOLPH S3000S kann Proben mit mehreren Schichten aus diffraktiven und brechenden optischen Materialien aufnehmen, um Informationen über die gesamte Struktur zu erhalten. RUDOLPH S 3000 S verwendet einen variablen winkelrotierenden Polarisator und das Steuer- und Analysemodul PD-SQuaRe, das eine unabhängige Einstellung des Winkels und der Polarisation ermöglicht. S3000S ist auch mit automatisierten Drift- und Hintergrundkorrekturen für eine schnellere, zuverlässigere Datenerfassung und höhere Datengenauigkeit ausgestattet. Darüber hinaus unterstützt S 3000 S sowohl die Reflexions- als auch die Transmissionselementsometrie und ermöglicht im Vergleich zu anderen vergleichbaren Systemen ein breiteres Anwendungsspektrum. RUDOLPH S3000S ist ein leistungsstarkes, aber benutzerfreundliches Werkzeug zur Messung und Analyse einer Vielzahl von Dünnschichtproben. Es ist in der Lage, die höchste Genauigkeit und Präzision der Daten mit seiner proprietären Optik, variable Winkel rotierenden Polarisator und integrierte PD-SQuaRe Steuerung und Analyse-Modul. Unabhängig von Probengröße, Dicke oder Oberflächentyp ermöglicht RUDOLPH S 3000 S die gleichzeitige Messung verschiedener Filmparameter.
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