Gebraucht RUDOLPH S3000S #9122476 zu verkaufen
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ID: 9122476
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2010
Focused beam ellipsometer, 12"
Wavelength-stabilized diode laser
Magnification microscope
Visible reflecto meter
Windows operating system
SEMI-compliant E-95 software
RAID 1 mirror hard disk,
(1) GB RAM memory
3 GHz Dual Core MPU
Metrology module user interface
High resolution flat-panel display
Keyboard
Pointing device
Metrology module-end
EMO button
Automation features:
EFEM with high-speed Yaskawa dual-arm robot
Ultra-clean HEPA air filtering mini environment
Amber interior lighting in the EFEM
EMO to the right and left of the loadports
SEMI F47 compliant power-sag protection
Metrology optics and hardware options:
Wavelength stabilized 923nm DFB laser
Temperature controlled optics
Software Options:
Cognex patMax pattern recognition
FabConnect software: HSMS, GEM with trace data
Statistical data analysis, graphing and display software
Xport Automation platform options:
Ionizer kit for dual-loadport EFEM
Signal Tower (5-color: R, Y, G, B, Clear)
AdvanTag 9100 Carrier ID reader
E84 Controller required for TDK + Hokuyo
2010 vintage.
RUDOLPH S3000S ist ein vielseitiges und benutzerfreundliches Ellipsometer. Ellipsometer messen die Änderung des Polarisationszustandes eines Lichtstrahls nach Reflexion oder Transmission von einer Probenoberfläche. Diese Informationen können verwendet werden, um die Dicke verschiedener dünner Filme zu messen sowie den Brechungsindex, den Extinktionskoeffizienten und die Oberflächenmorphologie einer Probe zu bestimmen. RUDOLPH S 3000 S ist ein optisches Ellipsometer, das durch Beleuchtung der Probenoberfläche mit sehr niedriger Intensität, monochromatischem polarisiertem Licht und Messung der Polarisationsänderung arbeitet, während das Licht zurückreflektiert wird. Dieses Licht wird vor und nach Wechselwirkung mit der Probe in vier Kanäle aufgeteilt. Durch Vergleich der simulierten theoretischen Vorhersagen mit dem gemessenen Polarisationszustand können die Filmeigenschaften genau bestimmt werden. S3000S enthält auch das patentierte Fast Kinetics Utility, das Mehrwinkelmessungen an schnell wechselnden Filmsystemen mit nur einem Messaufbau ermöglicht. S 3000 S ist in der Lage, mehrere Filmparameter, einschließlich Dicke, Brechungsindex, optische Anisotropie, Absorptionskoeffizient und die Oberflächenmorphologie der Probe, gleichzeitig zu messen. Es kann zuverlässig so dünne Filme wie ein paar Angströme und eine breite Palette von Probengrößen messen. RUDOLPH S3000S kann Proben mit mehreren Schichten aus diffraktiven und brechenden optischen Materialien aufnehmen, um Informationen über die gesamte Struktur zu erhalten. RUDOLPH S 3000 S verwendet einen variablen winkelrotierenden Polarisator und das Steuer- und Analysemodul PD-SQuaRe, das eine unabhängige Einstellung des Winkels und der Polarisation ermöglicht. S3000S ist auch mit automatisierten Drift- und Hintergrundkorrekturen für eine schnellere, zuverlässigere Datenerfassung und höhere Datengenauigkeit ausgestattet. Darüber hinaus unterstützt S 3000 S sowohl die Reflexions- als auch die Transmissionselementsometrie und ermöglicht im Vergleich zu anderen vergleichbaren Systemen ein breiteres Anwendungsspektrum. RUDOLPH S3000S ist ein leistungsstarkes, aber benutzerfreundliches Werkzeug zur Messung und Analyse einer Vielzahl von Dünnschichtproben. Es ist in der Lage, die höchste Genauigkeit und Präzision der Daten mit seiner proprietären Optik, variable Winkel rotierenden Polarisator und integrierte PD-SQuaRe Steuerung und Analyse-Modul. Unabhängig von Probengröße, Dicke oder Oberflächentyp ermöglicht RUDOLPH S 3000 S die gleichzeitige Messung verschiedener Filmparameter.
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