Gebraucht SOPRA GESP-5 #293793402 zu verkaufen
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ID: 293793402
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2001
Ellipsometer, 8"
Option: UV-VIS-NIR
Gonio bench
Monochromator
AC Transformer
HP Optiplex 3020 PC
Operating system: Windows 7
HP Deskjet 9070 Printer
EUROSEP DC Power supply: 75 to 300
2001 vintage.
SOPRA GESP-5 ist ein Ellipsometer zur Messung der Dünnschichtmaterialdicke und zur optischen Charakterisierung von Oberflächen. Es ist ein hochpräzises Instrument von SOPRA Mesure in Frankreich hergestellt. Sie verwendet die Messung der Variation des Polarisationszustandes des von einer Oberfläche reflektierten oder durchgelassenen Lichts zur Bestimmung der dielektrischen Parameter des Materials, wie Dicke und Brechungsindex. Es wird typischerweise zur Überwachung von Dünnschichtwachstum oder Ätzprozessen über einen weiten Bereich von Abscheideraten verwendet. GESP-5 verfügt über einen Einzelchip-CMOS-Detektor und ein hochmodernes optisches System, das Subangström- und Nanometergenauigkeit bietet. Es enthält digitale Lock-In-Verstärker und fortschrittliche Spiral-Scan-Technologie, die die Messung von ultradünnen Schichten mit hoher Genauigkeit ermöglicht. Das System kann hochgenaue Daten zur Messung einer einzelnen Schicht oder von Schichtstapeln bis zu 20 Schichten liefern. Das System ist mit einem 4 "verstellbaren Probenhalter ausgestattet und für die Kompatibilität mit den meisten Standard-Waferträgern ausgelegt. Es kann mit UHV-Transportsystemen zur elktrooptischen Analyse von Oberflächen unter verschiedenen Drücken und Temperaturen konfiguriert werden. SOPRA GESP-5 ist mit einer automatisierten Software-Suite integriert, um genaue und wiederholbare ellipsometrische Messungen bereitzustellen, mit denen der Benutzer das horizontale und vertikale Polarisationsverhältnis, die absolute Filmdicke, Brechungsindizes und dielektrische Funktionen überwachen kann. Es umfasst auch mehrere Datenanalysefunktionen wie Phasenverschiebung, azimutale Mittelung und gemischten Messmodus (Reflektanz-Durchlässigkeit). Das Instrument ist flexibel und einfach zu bedienen. Es kann in einer Vielzahl von Anwendungen wie Solarzellen, optische Beschichtungen, Halbleiter, organische Materialien und andere Dünnschichtstudien verwendet werden. Seine langlebige Konstruktion gewährleistet einen zuverlässigen Betrieb mit geringem Wartungsaufwand.
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