Gebraucht SOPRA GXR #9172335 zu verkaufen
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ID: 9172335
Spectroscopic ellipsometer
Grazing X-ray reflectometry
Multi-layer stack
Type of material:
Semiconductor
Metallic
Dielectric
Organic.
SOPRA GXR ist ein kompaktes und vielseitiges Einzelproben-Ellipsometer zur genauen Dünnschichtanalyse im Forschungs- und Entwicklungslabor. Es misst Reflexionsparameter der Oberflächenschicht einer Probe und hilft dabei, den Brechungsindex, die Schichtdicke und die optischen Konstanten zu bestimmen. GXR besteht aus einer breitbandigen Lichtquelle, einem variablen Polarisator und einem rotierenden Analysator, die alle auf einem verstellbaren Arm montiert sind. Der Lichtstrahl der Quelle wird polarisiert und von der Probe reflektiert. Der Polarisator wird verändert und das resultierende elliptisch polarisierte Licht wird dann vom rotierenden Analysator detektiert und gemessen, der die Phasenverschiebung und Amplitude des Lichts nach Reflexion von der Probe misst. Anschließend können die Ergebnisse zur Bestimmung der Probeneigenschaften analysiert werden. SOPRA GXR hat Probenhalter, die bis zu 5 mm Durchmesser Proben aufnehmen können, so dass es gut geeignet für die Untersuchung von flachen Substraten wie Dünnschicht optischen Komponenten und Halbleiterscheiben. Es ist auch in der Lage, Einfallswinkel bis zu 75 ° und Polarisation bis zu 30 ° zu messen, so dass der Benutzer jede substratinduzierte Depolarisation kompensieren kann. GXR ist mit einer piezoangetriebenen Höhenstufe ausgestattet, die eine Fokuskorrektur sowie eine Probennut für Schichtdickenstudien ermöglicht. SOPRA GXR verwendet Laserwellenlängen- und Polarisatoreinstellungen, die es mit einer Vielzahl von Materialien kompatibel machen, einschließlich Dielektrika, Polymere und Nanomaterialien. Darüber hinaus ermöglichen die erweiterten Funktionen es Benutzern, erweiterte Messungen durchzuführen, wie die Analyse mehrerer Topographiestrukturen und Mehrwinkelmessungen. Die vielseitige Software umfasst mehrere Datenverarbeitungsmodi und das Instrument kann in automatisierte Produktionslinien integriert werden. Insgesamt ist GXR aufgrund seiner Benutzerfreundlichkeit, Präzision und Vielseitigkeit eine ausgezeichnete Wahl für die Charakterisierung von Dünnschichteigenschaften. Das kompakte Design ist ideal für Labore, in denen Platz begrenzt ist, und seine erweiterten Funktionen bieten Flexibilität für erweiterte Anwendungsmessungen.
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