Gebraucht ADIXEN AMS 100 I-speeder #293817770 zu verkaufen

ID: 293817770
Weinlese: 2004
Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etcher (ICP-RIE) system Process performance: Etch rates (≈25 % pattern load): Bosch deep silicon etching: 5–6 µm/min Smooth & shallow fast‑switching Bosch process: ~1 µm/min Silica / quartz RIE etching: ~350 nm/min O₂ chamber cleaning O₂ photoresist stripping O₂ residue (“descum”) etch Bosch conditioning processes Used for deep silicon etching Gas lines: SF₆: max. 1000 sccm C₄F₈ (high-flow): max. 400 sccm C₄F₈ (low-flow): max. 100 sccm O₂: max. 200 sccm He (backside cooling): max. 200 sccm CH₄ (separate gas cabinet): max. 100 sccm Wafer clamping: Water cooled and non-cooled version, 4" Water cooled version, 8" He backside cooling system ATH 1600 M Turbo pump (2) A300 Roughing pumps VAT PM-6 Pendulum valve DRESSLER Cesar 1330 RF generator Frequency: 13.56 MHz Max. output power: Up to 3 kW Output voltage: 400 V DRESSLER Cesar 133 RF generator Frequency: 13,56 MHz Max. output power: 300 W ADVANCED ENERGY LF5 DC generator Frequency: 50 to 460 kHz in 100 Hz steps Max. output power: 500 W Temperature range: -30°C to +60°C 2004 vintage.
ADIXEN AMS 100 I-speeder ist ein modernes Ätzer/Ascher-Gerät mit fortschrittlicher Technologie zur präzisen und effizienten Verarbeitung von Substraten. Der AMS 100 I-speeder wurde von ADIXEN, einem führenden Hersteller von Vakuumtechnologie-Lösungen, entwickelt, um die Anforderungen der Halbleiterherstellung, der Forschungslabors und anderer Industrien zu erfüllen, die hochleistungsfähige Oberflächenbehandlungsgeräte benötigen. ADIXEN AMS 100 I-speeder zeichnet sich durch eine kompakte und robuste Bauweise aus, die die Raumnutzung maximiert und gleichzeitig die Stabilität während des Betriebs gewährleistet. Das System ist mit einer Hochleistungs-Vakuumkammer ausgestattet, die eine kontrollierte Umgebung aufrechterhält, die für präzise Ätz- und Ascheprozesse unerlässlich ist. Die Kammer ist aus hochwertigen Materialien aufgebaut, um Haltbarkeit und Langzeitleistung zu gewährleisten. Eines der wichtigsten Highlights des AMS 100 I-speeder ist das fortschrittliche Plasmaätzen und Plasmaveraschen. Das Gerät nutzt eine ausgeklügelte Plasmaerzeugungstechnologie, die eine kontrollierte und gleichmäßige Verarbeitung von Substraten ermöglicht. Diese Technologie ermöglicht eine präzise Entfernung von Material von der Substratoberfläche und ist somit ideal für Ätz- und Reinigungsanwendungen in der Halbleiterherstellung und anderen Industrien. ADIXEN AMS 100 I-speeder ist mit einer vielseitigen Prozesssteuerungsmaschine ausgestattet, die es Anwendern ermöglicht, die Ätz- und Ascheprozesse an ihre spezifischen Anforderungen anzupassen. Das Werkzeug bietet eine Reihe von Parametern, die eingestellt werden können, wie Gasflussraten, Plasmaleistung und Prozesszeit, um die gewünschten Ergebnisse zu erzielen. Darüber hinaus verfügt das Asset über Echtzeit-Überwachungs- und Feedback-Mechanismen, die Prozessstabilität und Wiederholbarkeit gewährleisten. In Bezug auf Produktivität und Effizienz bietet der AMS 100 I-speeder beeindruckende Leistung. Das Modell ist in der Lage, eine breite Palette von Substratgrößen und Materialien zu verarbeiten, so dass es eine vielseitige Lösung für verschiedene Anwendungen. Seine in einer Prozession gehenden Hochleistungsfähigkeiten ermöglichen schnelle Umlaufzeiten, gesamten Durchfluss vergrößernd und in einer Prozession gehende Kosten reduzierend. Darüber hinaus ist der ADIXEN AMS 100 I-speeder mit benutzerfreundlichen Funktionen ausgestattet, die eine einfache Bedienung und Wartung ermöglichen. Das Gerät ist mit einer intuitiven Bedienoberfläche ausgestattet, die es dem Bediener ermöglicht, Prozessparameter einfach zu überwachen und anzupassen. Darüber hinaus verfügt das System über Sicherheitsfunktionen, um den Schutz des Bedieners zu gewährleisten und das Unfallrisiko während des Betriebs zu minimieren. Auch der AMS 100 I-speeder ist nachhaltig konzipiert. Das Gerät wurde entwickelt, um den Energieverbrauch und die Abfallerzeugung zu minimieren und so zu einem umweltfreundlicheren Betrieb beizutragen. Das effiziente Design und die optimierten Prozessparameter tragen dazu bei, die CO2-Bilanz und die Betriebskosten für die Anwender insgesamt zu reduzieren. Insgesamt zeichnet sich ADIXEN AMS 100 I-speeder als modernste Ätz-/Aschermaschine aus, die fortschrittliche Technologie, Präzisionsleistung und benutzerfreundliche Funktionen kombiniert. Ob in der Halbleiterherstellung, in Forschungslabors oder anderen Industrien, das Tool bietet eine zuverlässige und effiziente Lösung für Oberflächenbehandlungsanwendungen. Seine Vielseitigkeit, Produktivität und Nachhaltigkeitseigenschaften machen es einen wertvollen Vermögenswert für Organisationen, Hochleistungsoberflächenverarbeitungsanlage suchend.
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