Gebraucht ADVANCED MODULAR SYSTEMS AMS 2000 #9299602 zu verkaufen
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ADVANCED MODULAR SYSTEMS AMS 2000 ist eine fortschrittliche, modulare Ätz- und Aschermaschine, die für maximale Systemflexibilität und -leistung in einer Vielzahl von Anwendungen entwickelt wurde. Das Gerät verfügt über hochpräzise, modulare, mehrprozessuale Unterstützung für Ätzen, Aschen, Folienbelichtung und andere Anwendungen. Der modulare Aufbau von AMS 2000 bietet eine optimierte, effiziente und konfigurierbare Maschine und ermöglicht es Benutzern, die Fähigkeiten des Werkzeugs bei Bedarf einfach zu erweitern. Das Asset umfasst einen Standard-Zweispurätzer und eine modulare Basiseinheit sowie eine optionale Erweiterungskammer, um die Kapazität des Modells um bis zu 408 Wafer zu erhöhen. Das hochpräzise Ätzmodul bietet ein präzises Ätzen von dünnen Folien mit hoher Präzision und geringer Defektivität, wodurch Benutzer Wiederholbarkeit und Genauigkeit erzielen und beibehalten können. Das Ätzermodul verfügt über eine vorausschauende und präventive Wartung, um Prozessunterbrechungen zu minimieren und die Lebensdauer kritischer Komponenten zu verlängern. Das fortschrittliche modulare Aschermodul bietet überlegene Prozessgenauigkeit und Wiederholbarkeit und verwendet die neueste Technologie, um Wafer nach der Herstellung zu ätzen und zu reinigen. Die Kammer weist eine Doppeldüsenkonstruktion mit Gaseinspritzrohren zur genauen Ätzung und Reinigung schwer zugänglicher Bereiche der Wafer auf. Das asher bietet Funktionen zur Prozessdiagnose, mit denen Benutzer den Ätzprozess überwachen und analysieren können, um sicherzustellen, dass Prozessparameter und -anforderungen erfüllt sind. Das optionale Folienbelichtungsmodul nutzt die Lichtquellentechnologie, um positive, negative und kritische Filme verschiedener Größen präzise und präzise zu belichten. Das Belichtungsmodul wurde entwickelt, um den Durchsatz zu erhöhen und gleichzeitig Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Die maximale Wafergröße, die von ADVANCED MODULAR SYSTEMS AMS 2000 unterstützt wird, beträgt 8 Zoll, und die Schnittstellen- und Steuerungsausrüstung verwendet das Windows-Betriebssystem für eine intuitive und benutzerfreundliche Bedienung. Das Gerät nutzt die zweispurige Verarbeitung, um den Durchsatz zu maximieren und die Zykluszeiten zu reduzieren und maximale Produktionseffizienz und Qualität zu gewährleisten. AMS 2000 Ätzer/Ascher ist mit seiner modularen Bauweise und seinen fortschrittlichen Funktionen eine ideale Lösung für eine Vielzahl von Halbleiterherstellungsanwendungen.
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