Gebraucht ADVANCED VACUUM Vision 320 #293764890 zu verkaufen

ID: 293764890
Wafergröße: 10"
Weinlese: 2017
Reactive Ion Etchers (RIE), 10" Turbo pump No primary vacuum pump No chiller 2017 vintage.
ADVANCED VACUUM Vision 320 ist ein modernes Ätz- und Aschemaschinengerät, das fortschrittliche Vakuumtechnologie verwendet, um präzise und effiziente Ätz- und Ascheprozesse für verschiedene Materialien bereitzustellen. Vision 320 wurde für Forschung und industrielle Anwendungen entwickelt und bietet ein hohes Maß an Kontrolle und Vielseitigkeit, um den Anforderungen verschiedener Anwendungen in Bereichen wie Halbleiterherstellung, MEMS/NEMS-Herstellung und Werkstoffwissenschaft gerecht zu werden. ADVANCED VACUUM Vision 320 verfügt über eine ausgeklügelte Vakuumkammer mit Hochleistungspumpsystemen, die eine Niederdruckumgebung schaffen, die für die Erzielung einheitlicher und kontaminationsfreier Ätz- und Ascheprozesse unerlässlich ist. Das System ist mit einer präzisen Gasfördereinheit ausgestattet, die es Anwendern ermöglicht, die Durchflussraten verschiedener Prozessgase mit hoher Genauigkeit zu steuern, was die Anpassung von Ätz- und Ascherezepten für bestimmte Materialien und Anwendungen ermöglicht. Eines der Hauptmerkmale von Vision 320 ist seine fortschrittliche Plasmaerzeugungsmaschine, die eine hochfrequente Stromquelle verwendet, um eine stabile und gleichmäßige Plasmaentladung innerhalb der Vakuumkammer zu erzeugen. Dieses Plasma spielt eine entscheidende Rolle bei den Ätz- und Ascheprozessen, indem es die chemischen Reaktionen erleichtert, die Material von der Substratoberfläche entfernen oder Reste aus dem Ätzprozess reinigen. ADVANCED VACUUM Vision 320 bietet eine breite Palette von Plasmaquellen, darunter induktiv gekoppeltes Plasma (ICP), kapazitiv gekoppeltes Plasma (CCP) und Mikrowellen-Plasmaquellen, so dass Benutzer die am besten geeignete Plasmakonfiguration für ihre spezifischen Anwendungen auswählen können. Diese Plasmaquellen können einfach in das Tool integriert werden und bieten Flexibilität und Skalierbarkeit für zukünftige Upgrades oder Modifikationen. Die Anlage verfügt über erweiterte Prozessüberwachungs- und Steuerungsfunktionen, einschließlich Echtzeit-Überwachung wichtiger Prozessparameter wie Kammerdruck, Gasdurchflussraten, Plasmaleistung und Substrattemperatur. Anwender können diese Parameter über eine intuitive Benutzeroberfläche visualisieren und analysieren, sodass sie Prozessbedingungen optimieren und Reproduzierbarkeit und Konsistenz beim Ätzen und Auswerten von Ergebnissen gewährleisten können. Vision 320 ist mit einem hochmodernen Substrat-Handling-Modell ausgestattet, das eine präzise Positionierung und Rotation von Substraten während der Ätz- und Ascheprozesse ermöglicht. Diese Ausrüstung kann eine Vielzahl von Substratgrößen und Materialien aufnehmen und macht ADVANCED VACUUM Vision 320 für eine Vielzahl von Anwendungen in Forschungs- und Produktionsumgebungen geeignet. Zusammenfassend ist Vision 320 ein hochentwickeltes Ätz- und Aschersystem, das Präzision, Steuerung und Vielseitigkeit für eine Vielzahl von Anwendungen in der Halbleiterherstellung, MEMS/NEMS-Herstellung und Materialwissenschaft bietet. ADVANCED VACUUM Vision 320 ist mit seiner ADVANCED VACUUM Technologie, Plasmaerzeugungssystemen, Prozessüberwachungs- und Steuerungsfunktionen und Substrathandhabungseinheit ein leistungsstarkes Werkzeug für Forscher und Ingenieure, die präzise und effiziente Ätz- und Ascheprozesse erreichen möchten.
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