Gebraucht ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER 601E I-Speeder #165552 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 165552
Wafergröße: 6"
Weinlese: 2001
Silicon etcher, 6"
Wafer size: 6", converted from 4"
Semco ESC
Genmark 4 robot with wafer aligner
4” single wafer vacuum loadlock assembly
Chuck table with controlled-temperature from –30°C~ +60°C
Substrate holder: 4” wafer electrostatic clamping system with center kit
Low-pressure plasma source with laser view port adaptor on top of the source
System control and monitoring with PLC & PC, Windows NT & Alcatel GUI
UPS power for PLC control
Operates the machine in manual, semi-automatic, or fully-automatic modes
Chamber primary pump: ADP122
Cold trap with heated pump line
Maglev turbomolecular pump: ATH 1300M
DN 200 heated throttle & isolation valve VAT series 64 + By-pass + line with controller
Loadlock dry pump ACP28
Loadlock molecular pump MDP 5011
Lauda Chiller RK8CP
Power transformer: input AC200-220V, output AC400V
Baratron 100Pa
Source power supply: 2kW RF with RF20S generator controller
Bias power supply: 500W with RF5S generator controller
Robot loading version
User’s manual on CD ROM and PC HD
Electrical schematics on cleanroom paper
Telediagnostic (modem+software)
Process Module:
Room (Bosch) temperature process. (including Bosch patent)
Substrate holder electrostatic clamping system
Wafer centering kit 100mm
Source: 2kW RF
Bias: 0.5kW RF
Heated process chamber walls
Laser view port adapter on top of the source
Reactor Pumping:
Alcatel ADP 122
Maglev turbomolecular pump ATH 1300M
DN200 heated throttle & isolation valve VAT series 64 + by-pass
Completed pumping line is heated, while a coldtrap is installed before the dry pump
Gas lines:
4 UNIT mfc’s, type 1 gas lines, installed in the main frame of the A601E
SF6-500 sccm, C4F8 – 200400 sccm, O2 –20 sccm, O2-200 sccm
oad/Unload Module:
Robot loading
Optical fiber for wafer localization
Ferrofluidics feedthrough on transfer arm
Molecular drag pump MDP 5011
Mechanical pump needed
Control Module:
PLC & PC
Windows NT & Alcatel GUI
Telediagnostic(modem & software)
Substrate holder:
Electrostatic clamping system version
Additional spare electrostatic ceramic (4”): yes, but used
Pumping station:
ADP122 and ACP28 dry pumps pack for process chamber and loadlock
Gas lines:
Gas cabinet for 6 gas lines
Different UNIT MFC’s flow range/standard
Transfer module and loadlock
GENMARK cassette loading robot
Flat finder/aligner
Documentation:
Hard copy of the user manual
Documentation set on cleanroom paper
CD-ROM with User manual
Normal Paper: manuals of all sub-units
Cleanroom Paper: Electrical diagrams
Additional Parts:
Cryo kit for Bosch and Cryo process
Electrostatic Chuck 6” wafer size kit for manual or robot loading version
Tool has been mainly used for R&D purposes
Modifications:
RK8CP chiller
Upgrade of Maglev ATH 1300 to ATH 1600 turbomolecular pump
Upgrade of ACP20 to ACP28 dry pump
51 foot pump cable
Light tower
Upgrade of 2 kW RFPP generator to ENI 3 kW RF generator
UNIT MFC: SF6 / 1000 sccm UFC 180
SECS II protocol
Software upgrade (PC and pLC)
2001 vintage.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER 601E I-Speeder ist ein Hochleistungsätzer und Ascher für Halbleiter- und Mikroelektronik-Anwendungen. Die Ausrüstung wurde entwickelt, um eine überlegene Leistung und einen optimalen Durchsatz mit Funktionsgrößen bis zu 2,5 µm und Prozessen wie Ätzen, Haften, Reinigen und Entfernen zu bieten. Der I-Speeder ist mit einem zuverlässigen Dual-Beam-System ausgestattet, das punktgenaue Genauigkeit und Gleichmäßigkeit über das gesamte Werkstück bietet. Sein Flüssigkeitswiderstand und seine Flexibilität zur Aufnahme mehrerer Prozesse machen es zu einem vielseitigen Werkzeug für die meisten Halbleiteranforderungen. Der I-Speeder nutzt eine spezialisierte Einheit fortschrittlicher Vakuumtechnologien, um überlegene Ätzraten, geringere Partikelzahlen und eine verringerte Oxidverunreinigung zu erreichen. Das Gerät verfügt über einen Zweizyklusregler, der eine präzise Einstellung der Prozessparameter ermöglicht. Die einzigartige kombinierte Plasmer-Kegel-Maschine und die patentierten keramischen Feldspulen helfen, das Werkstück zu schützen und gleichzeitig überlegene Ätzergebnisse zu gewährleisten. Der I-Speeder ist mit insgesamt acht vorinstallierten automatisierten Prozessen ausgestattet und liefert konsistente Ergebnisse sowie eine verkürzte Bedienerschulung und Rüstzeit. Dieses leistungsstarke Gerät ermöglicht die Installation von Hardware und Software von Drittanbietern ohne zusätzliche Hardware. Darüber hinaus protokolliert es automatisch detaillierte Prozessparameter, so dass es einfach ist, den Ätzprozess zu verfolgen. Der I-Speeder ist eine umfassende Radier- und Ascherlösung mit einer Vielzahl von Funktionen und Vorteilen. Es bietet einen leistungsstarken, effizienten und zuverlässigen Prozess, der zu überlegener Mikrofeature-Formbarkeit und überlegener Kontrolle führt. Das vielseitige Werkzeug ist ideal für die meisten Anforderungen an die Halbleiterätzung und bietet eine hervorragende Leistung mit Funktionsgrößen bis zu 2,5 μ m und schnelleren Prozesszeiten. Darüber hinaus wird das Gerät von ADIXEN und ALCATEL unterstützt und bietet außergewöhnlichen Kundenservice und technischen Support.
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