Gebraucht ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER 601E #9260027 zu verkaufen

ID: 9260027
Deep Reactive Ion Etcher (DRIE).
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER 601E ist ein Ätzer/Ascher für Anwendungen, die einen hohen Durchsatz, Wiederholbarkeit und Genauigkeit erfordern. Es ist eine integrierte Ausrüstung mit Vakuumkammer, Heizkammer, Bedienfeld, Pumpen und Sensoren. Der Ätzer/Ascher ist zuverlässig und robust und somit ideal für industrielle Anwendungen. ADIXEN 601E verfügt über eine Vakuumkammer mit einem Fassungsvermögen von 0,25 bis 5 Litern. Es ist mit einem automatisierten Self Tuning Protection System (STP) ausgestattet, das alle Drucksollpunkte und Prozessbedingungen überwacht, wenn der Ätzer/Ascher auslöst. Dies gewährleistet die Wiederholbarkeit und Genauigkeit des Prozesses. Die Kammer wird auf Temperaturen bis 1000 ° C erhitzt und die Wände zum Schutz vor aggressiven Stoffen mit hartem Polytetrafluorethylen beschichtet. ALCATEL 601E ist mit einem Bedienfeld ausgestattet, das es dem Benutzer ermöglicht, Zeit, Temperatur, Druck, Durchflussmenge, Mischungszusammensetzung und andere Parameter zu programmieren. Dadurch kann die Temperatur der Kammer genau auf die jeweilige Anwendung abgestimmt werden. Das Bedienfeld ermöglicht es dem Benutzer auch, den Ätzer/Ascher von jedem PC oder Gerät mit einer kompatiblen Schnittstelle aus zu überwachen und zu steuern. Der Ätzer/Ascher enthält auch eine Reihe von Pumpen, darunter eine Turbomolekularpumpe, eine Flüssigkeitspumpe und eine Flüssigkeitsringpumpe. Diese Pumpen sorgen dafür, dass unterschiedliche Prozessgase mit der gewünschten Geschwindigkeit und dem gewünschten Druck strömen. Die Pumpen haben eine hohe Zuverlässigkeit und bieten zuverlässige Leistung für lange Zeiträume. Der Ätzer/Ascher ist mit einer Reihe von Sensoren ausgestattet, darunter für Druck, Temperatur, Vakuum, Gaszusammensetzung und Strom. Diese Sensoren ermöglichen es dem Ätzer/Ascher, die Prozessbedingungen in der Kammer genau zu überwachen und zu steuern. Die Sensoren können auch zum Abschalten der Einheit verwendet werden, wenn anormale Zustände auftreten. PFEIFFER 601E ist ein zuverlässiger und robuster Ätzer/Ascher, der sich ideal für industrielle Anwendungen eignet, die präzise Prozessbedingungen und Wiederholbarkeit erfordern. Die integrierte Maschine, die automatisierte Werkzeugsteuerung und das umfangreiche Spektrum an Sensoren sorgen für präzise und wiederholbare Ergebnisse.
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