Gebraucht ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER 602E #9232742 zu verkaufen
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ID: 9232742
Wafergröße: 6"
Deep silicon etcher, 6"
Cassette vacuum load lock
Low pressure plasma source
Temperature controlled cryo chuck
Substrate holder: Θ150 mm
(2) Programmable Logic Controllers (PLC)
(2) Chamber etch systems
With handler
Process module:
Transfer chamber
Automated robotic arm
Computer interface system
(5) Sub assemblies:
Process chamber
Substrate holder
Plasma source
Power supplies
Pressure control
Transfer module:
Transfer chamber
Load lock chamber
Pressure control
Automatic loading and unloading substrates
With robotic arm, load lock and pumping package
System control module:
Real time process control and recipe management
RF Power control
Automatic substrate bias voltage control
Pump and valve control
Process gas flow control
Automatic batch processing
Manual control of all I/O signal.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER 602E Etcher/Asher ist ein fortschrittliches industrielles Werkzeug zur Erzeugung eines hochpräzisen Musters auf der Oberfläche unterschiedlichster Materialien. Dieses Werkzeug ist in der Lage, hochauflösende Ergebnisse bei sehr hoher Geschwindigkeit zu erzielen. Seine Mehrfachkonfigurationen ermöglichen sowohl Nass- als auch Trockenätzen sowie Topographie, Isotopen- und Photoresistätzen. Die Hauptmerkmale von ADIXEN 602E sind seine digitale, hochauflösende Programmier- und Steuerungsausrüstung, die eine einfache Mustereinstellung und eine hohe Flexibilität ermöglicht, die unterschiedliche Ätzprozesse und unterschiedliche Anwendungen ermöglicht. Das digitale, computergestützte System umfasst auch einen automatischen Kalibrier- und Autokorrekturmechanismus, der im Laufe der Zeit konsistente Ergebnisse gewährleistet. Bei der Wirksamkeit ist ALCATEL 602E auf eine Genauigkeit von bis zu 0,2 Mikrometern mit einer 45-Grad-Fase ausgelegt. Diese hohe Präzision ermöglicht es, die Details komplexer Konstruktionen genau und realistisch zu gestalten. Die Leistung der Einheit gewährleistet auch, dass der Ätzprozess schneller ist, ohne auf Genauigkeit zu verzichten, wodurch in kurzer Zeit unterschiedlichste Muster erzeugt werden. PFEIFFER 602E bietet auch mehrere Sicherheits- und Umweltmerkmale. Die Maschine ist gegen Wasserspritzer geschützt und hält das Innere des Werkzeugs trocken. Es ist auch entworfen, um Staubemissionen und Lärm zu minimieren, so dass es auch in einem industriellen Umfeld verwendet werden kann. Darüber hinaus verfügt das Asset über eine benutzerfreundliche Oberfläche und Software, die eine einfache Bedienung des Modells ermöglicht. 602E Etcher/Asher ist ein ideales Werkzeug für Präzisionsteilmarkierung, Topographie, Musterung, Ätzen/Markieren und Lithographie. Aufgrund seiner Funktionen kann es genaue, hochauflösende Ergebnisse liefern, unabhängig von der Herausforderung, mit der es beauftragt ist. Hoch konfigurierbar, bietet die Ausrüstung Flexibilität in Bezug auf Mustergröße, Art der Materialien bearbeitet werden, Komplexität der Muster, und mehr. Alle diese Funktionen arbeiten zusammen, um dem Benutzer einen optimierten, hocheffizienten Prozess zu bieten und schnelle und genaue Ergebnisse zu gewährleisten.
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