Gebraucht ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER A601E #9301828 zu verkaufen
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ID: 9301828
Wafergröße: 8"
Etcher, 8"
Gasses: Ar, CF4, O2, C4F8, SF6
Pump 1: ALCATEL ADP 122P
Pump 2: ALCATEL ACP 20
Chiller: LAUDA PK8 CP.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER A601E Ätzvorrichtung ist eine zuverlässige und präzise Trockenätzvorrichtung für die Abscheidung von dünnen Schichten von Metallen oder anderen Materialien auf der Oberfläche von Wafern. ADIXEN A601E ist ein vielseitiges System mit einer Vielzahl von Variablen, die für den Ätzprozess angepasst werden können. ALCATEL A601E verwendet einen Hochleistungs-Elektronenstrahl, um die Ionisation des Arbeitsgases, des Ätzmaterials und der Oberfläche des Wafers zu erzeugen. Das Gerät verwendet ausgeklügelte optische Methoden, um den Ätzbereich zu scannen und die Parameter des Strahls anzupassen, um die höchste Ätzgenauigkeit bereitzustellen. Das geätzte Material wird dann vom Ätzbereich weggesaugt und der Wafer für die nächste Abscheidung vorbereitet. PFEIFFER A601E Maschine ist in der Lage, Aluminium, Kupfer, Wolfram, Titan und Gold und andere Materialien zu ätzen. Das Werkzeug kann auch eine Vielzahl von Ätztiefen bereitstellen, und der Ätzprozess kann angepasst werden, um eine verbesserte Oberflächenqualität zu gewährleisten. Das Asset kann auch verwendet werden, um Unvollkommenheiten in der Oberfläche des Wafers zu entfernen. A601E Modell ist mit einer benutzerfreundlichen Oberfläche konzipiert, die es dem Benutzer ermöglicht, die Ätzparameter einfach einzustellen. Der Benutzer kann auch über eine Computerschnittstelle auf alle Parameter des Gerätes zugreifen, die zur Überwachung des Prozesses in Echtzeit oder zur entsprechenden Einstellung der Parameter verwendet werden können. ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER A601E System ist effizient und zuverlässig, so dass Benutzer schnell und präzise dünne Schichten von Metallen auf der Waferoberfläche ablegen können. Das Gerät eignet sich hervorragend für gewerbliche und industrielle Anwendungen. Die Maschine ist auch in der Lage, eine höhere Genauigkeit und Wiederholbarkeit des Ätzprozesses als andere Ätzer bereitzustellen. Das Werkzeug hat auch eine niedrige laufende Kosten und ist einfach zu warten.
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