Gebraucht ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 200 SE #9251507 zu verkaufen

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200 SE ist eine Ätz-/Ascher-Prozessausrüstung, die entwickelt wurde, um eine schnelle hochgenaue Verarbeitung sowohl für Forschung und Entwicklung als auch für Produktionshalbleiteranwendungen durchzuführen. Es ist der kryogene Plasmaätzer und besteht aus einer großen Vakuumkammer, einer Plasmaquelle, einem eloxierten Wafer-Spannfutter und einem Substrathalter. ADIXEN AMS 200 SE wurde entwickelt, um sowohl Standard- als auch spezielle Halbleiteranwendungen mit hoher Genauigkeit und Zuverlässigkeit zu bearbeiten. ALCATEL AMS 200 SE ist mit einem Waferfutter ausgestattet, das Temperaturen bis -70 ° C erreichen kann. Dadurch wird sichergestellt, dass die Plasmabearbeitung bei präzisen und homogenen Temperaturen durchgeführt wird. Das Wafer-Spannfutter soll außerdem die Betriebskosten reduzieren, indem es den Bedarf an Retikeln reduziert und so die Lebensdauer des Spannfutters verlängert. Der Substrathalter ist mit automatisierten Bodenladern ausgestattet, um eine schnelle und einfache Beladung des Substrats zu ermöglichen. PFEIFFER AMS 200 SE ist auch mit erweiterten Multi-Zone ACC-Controller und Ionen-Gauge zur präzisen Steuerung der Substrattemperaturen und Leistungspegel ausgestattet. AMS 200 SE arbeitet in einem kryogenen Ätzprozess, um die Erzeugung thermischer Verunreinigungen beim Ätzen zu minimieren. Es ist auch mit fortschrittlicher Plasmaquellensteuerung ausgestattet, um sicherzustellen, dass der Ätzprozess mit maximaler Effizienz und Genauigkeit durchgeführt wird. Die hohe Genauigkeit wird durch den Einsatz von Präzisionsätzmaske, dickem Nitrid-Decke-Wafer-Substrat und fortschrittlichen intelligenten Sensortechnologien erreicht. ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200 SE bietet eine hohe Flexibilität und Vielseitigkeit, da es in der Lage ist, verschiedene Substrattypen und Materialien zu verarbeiten, die den Bereich von zerstäubten Wafern bis hin zu nicht-oxidischen Substraten umfassen. Der Ätzprozess kann mit seinen sechsachsigen Strahlabtast-, Programmier- und Kurvenanpassungsfunktionen weiter für eine Vielzahl von Ätzprofilsteuerungen optimiert werden. Es verfügt auch über einen niedrigen Ätzratenzyklus für gleichmäßiges und wiederholbares Ätzen von Wafern. Schließlich bietet ADIXEN AMS 200 SE mit seinen fortschrittlichen Sicherheitseinrichtungen wie einem EMI-Filter, einem Temperaturregler, einem digitalen Controller und einem Mehrzonenkammersicherheitssystem ein hohes Maß an Sicherheit. Diese Sicherheitsvorrichtungen erhöhen die Zuverlässigkeit und Genauigkeit des Prozesses, um sicherzustellen, dass die hohe Qualität des Endprodukts mit einem minimalen Risiko erreicht wird. ALCATEL AMS 200 SE ist eine ausgezeichnete Wahl für diejenigen, die eine zuverlässige, genaue und sichere Ätz-/Ascher-Prozessausrüstung suchen.