Gebraucht ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 200 SE #9296962 zu verkaufen

ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 200 SE
ID: 9296962
Wafergröße: 6"
Weinlese: 2004
Etcher, 6" 2004 vintage.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200 SE ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher für die Halbleiterindustrie. Es bietet eine integrierte, kostengünstige Lösung für Trockenätzanwendungen in einer Vielzahl von Prozessbereichen. ADIXEN AMS 200 SE Ätzer/Ascher ist mit einer voll programmierbaren Horizontal Process Chamber (HPC) und einem Lateral Wafer Sets Transfer (LWST) ausgestattet. Das HPC wurde entwickelt, um eine Reihe von Prozesslösungen bereitzustellen, einschließlich Ätzen, Aschen, Vorätzen und Ionenimplantation. Außerdem schützt die Kammer vor leitfähigen und korrosiven Materialien. Das LWST ermöglicht eine präzise, wiederholbare Niederdruckübertragung von Substraten und Wafern zwischen Prozesskammern. ALCATEL AMS 200 SE bietet auch eine Reihe von Prozesssteuerungsfunktionen, darunter Flexibilität bei Rezepturen, variable Temperatur- und Gasdurchflussraten sowie Überdruckregelungstechnologien und erweiterte Sicherheitsfunktionen. Der Ätzer/Ascher ist auch mit einer HF-Plasmaquelle ausgestattet, die in der Lage ist, wiederholtes und gleichmäßiges Plasma über das Substrat während der Ätz- oder Ascheprozesse bereitzustellen. Die Gleichmäßigkeit des Plasmas bietet eine überlegene Prozesskontrolle und Genauigkeit. Darüber hinaus verfügt PFEIFFER AMS 200 SE über ein spezielles Abgasminderungssystem zur Steuerung der Abgasemissionen. Dieses System basiert auf einer Reihe von Filtrationsschritten, um eine reinste verfügbare Prozessgasleistung zu gewährleisten. AMS 200 SE bietet eine schnelle, zuverlässige und wiederholbare Alternative zum Ätzen und Aschen von Substraten in mehreren Branchen wie Halbleiter, Elektronik, Medizin, Automobil und mehr. Seine erweiterten Sicherheitsfunktionen schützen Benutzer, gewährleisten die Wiederholbarkeit und Qualität des Prozesses und maximieren die Kosteneffizienz.
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