Gebraucht ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 200 #293757692 zu verkaufen
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ID: 293757692
Etcher
ESC Chuck, 6"
Robot and controller
Molecular pump and controller
Butterfly valve and controller
E-Chuck voltage controller
Chamber
RF Source and bias match
Chiller
Process and transfer dry pump chamber
MFC Gases: N2, AR, O2, SF6, C4F8
T1/T2 Transformer: 110 V
RF Source generator: 3 kW
RF Bias generator: 500 W
PC
Monitor
Keyboard
Transformer: 380-208 AC, 3 Phase.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200 Ätzer/Ascher ist eine zuverlässige und vielseitige Lösung für ein breites Spektrum an Ätz- und Ascheanwendungen. Es ist eine kompakte Ausrüstung, die effiziente, kontrollierte, wiederholbare Prozesse in einer geschlossenen, industrietauglichen Umgebung bietet. Das Gerät ist automatisiert und somit perfekt für Produktionsumgebungen geeignet. Es verfügt über eine programmierbare SPS (programmierbarer Logikcontroller) und eine vollständige Palette von Softwarepaketen, mit denen Benutzer das Beste aus dem System herausholen können. Die Einheit ist mit zwei abgeschalteten Kammern ausgebildet, die mit einer gemeinsamen Prozesskammer verbunden sind. Die Übertragung von Bauteilen zwischen den Prozesskammern erfolgt über eine innere Transferkammer. Die abgeschalteten Kammern dienen zum Ätzen sowie zum Abtrennen eventuell in der Prozesskammer anfallender Schmutzpartikel. Der Ätz- und Aschevorgang erfolgt über eine vereinheitlichte Keramikscheibeneinheit. Diese verfügt über eine High-Temp-Scheibe oder Steckerbasis mit dem Substrat und Abdecköfen oben. Ätz- und Aschefunktionen werden von der SPS gesteuert, was dem Anwender eine genaue und wiederholbare Bedienung ermöglicht. Die Wärme wird gleichmäßig verteilt und kontrolliert, um die Gleichmäßigkeit im Ätz- oder Aschevorgang zu gewährleisten. Die Steuerungsmaschine und Überwachungsfunktionen des Geräts umfassen eine Echtzeit-Anzeige, mit der der Benutzer den gesamten Prozess überwachen und steuern kann. Der Benutzer kann auch Parameter wie Temperatur, Durchfluss und andere Einstellungen anpassen, um die Leistung des Werkzeugs zu optimieren. Darüber hinaus umfasst die Anlage eingebaute Sicherheitsfunktionen wie einen Not-Aus-Knopf, um die Sicherheit des Bedieners zu gewährleisten. Insgesamt ist ADIXEN AMS 200 ein zuverlässiger und effizienter Ätzer/Ascher, der eine breite Palette von Funktionen und Funktionen bietet. Vom Ätzen und Aschen bis hin zur Filtration und Sicherheit eignet es sich perfekt für industrielle Anwendungen und ist somit die perfekte Wahl für mittel- bis serienreiche Umgebungen.
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