Gebraucht ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 200 #9229760 zu verkaufen

ID: 9229760
Weinlese: 2007
Etcher 2007 vintage.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200 ist ein Ultrahochvakuumätzer/Ascher, der für seine hohen Präzisionsfähigkeiten bekannt ist. Diese Geräte werden häufig für komplexe Ätz- und Ascheprozesse in einer Vielzahl von Branchen und Forschungsanwendungen eingesetzt. Das Atomkraftmikroskop in ADIXEN AMS 200 hat eine sehr hohe Auflösung und kann für die Suche und Abbildung von Proben verwendet werden. Seine hohe Auflösung macht es für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet, von IC-Systemen bis zu Nanopartikeln. Darüber hinaus kann seine Sputter-Ionen-Quelle den Ionenstrahl effizient steuern, um perfekte Strukturen auf Probenoberflächen zu erstellen. Die Probenbehandlung in ALCATEL AMS 200 zeichnet sich durch hohe Flexibilität und Reproduzierbarkeit aus. Temperatur und Prozessdruck können unabhängig vom Prozessdruck oder der Probengröße präzise eingestellt und gewährleistet werden. Oberflächeneigenschaften werden durch in situ Plasmabehandlungen erreicht, die eine Oxidation der Probenoberfläche ermöglichen. Dies reduziert die Gefahr einer Oberflächenverschmutzung und verbessert die Haftung für den Ätz- und Ascheprozess. Der Ätzprozess in AMS 200 verwendet eine Oxidmasse gasförmiger Ätzkolben, die eine empfindliche und minimale Beschädigung der Waferoberfläche ermöglicht. Die Ätzung erfolgt unter Hochvakuum, wobei die von der Probenoberfläche gesputterten Ionen schneller auf die hochreaktive Sauerstoffspezies gelangen. Dies führt zu einer gleichmäßigeren Ätzung und minimalen Beschädigung des Probenmaterials. Ebenso wird der Aschevorgang in PFEIFFER AMS 200 unter Hochvakuum durchgeführt. Unter Verwendung seiner Kombination aus reaktiven Sauerstoffspezies und hohem Prozessdruck wird der Aschevorgang optimiert, um Material schnell und effizient von der Oberfläche mit minimalen Schäden zu entfernen. ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200 verfügt zudem über ein ausgeklügeltes Temperaturregelsystem. Dadurch kann der Anwender die Temperatur der Prozesskammer oder bestimmter Module oder Teile einstellen. Die Temperatur wird auch bei wechselndem Prozessdruck konstant gehalten. Abschließend ist ADIXEN AMS 200 eine ideale Lösung für Prozesse, die ein Ultrahochvakuumätzen und -veraschen erfordern. Die Kombination fortschrittlicher Technologien, einschließlich des Atomkraftmikroskops und der In-situ-Plasmabehandlung, sorgt für konsistente und präzise Ergebnisse. Darüber hinaus sorgt das Temperaturregelsystem für minimale Schäden am Probenmaterial und ist somit eine ideale Wahl für eine Vielzahl von Anwendungen.
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