Gebraucht ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 200 #9232795 zu verkaufen

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200 ist ein hochpräzises Ätz-/Aschesystem, das den Anforderungen fortschrittlicher Waferverarbeitungsumgebungen gerecht wird. Es verfügt über eine langlebige Triode-Plasma-Elektronenquelle, mit der das System kontrollierte Ätz-, Glüh- und andere Verarbeitungsfunktionen ausführen kann. Die Prozesssteuerung ist hochpräzise und ermöglicht eine sehr feine Strukturierung und ausgezeichnete Wiederholbarkeit. Die Quelle ist über einen Bereich von Wahrscheinlichkeiten einstellbar, um das gewünschte Ergebnis zu erzielen. Die Konstruktion der Maschine ist robust und einfach. Sie besteht in erster Linie aus einer Vakuumkammer mit einer Steuertür, einer Plasmaquelle und deren relevanten Stromversorgungs- und Steuerungssystemen. Die Plasmaquelle weist einen verstellbaren Verschlussmechanismus auf, der einen gleichmäßigen und gleichmäßigen Ätz-/Aschevorgang über den gesamten Wafer gewährleistet. Auf jeden Wafer werden Luft und Stickstoffgas ohne Wärmestrahlung und ohne Beschädigung aufgebracht. Der Ätz-/Ascheprozess kann an jede beliebige Anwendung angepasst werden und die Einstellungen können einfach zwischen Wafern übersetzt werden. Es hält eine sehr präzise und wiederholbare Verarbeitungsrate durch den gesamten Wafer auch mit komplexen Mustern. ADIXEN AMS 200 kann aufgrund seiner niedrigen Betriebstemperaturen im Vergleich zu alternativen Systemen länger laufen. Darüber hinaus verfügt ALCATEL AMS 200 über eine Vielzahl von Sicherheitsmechanismen. Es verfügt über eine Sensor-Suite, die Stickstoffgasregulierung und -quellen, Vakuumdruck und Innentemperaturen überwacht. Benachrichtigungen werden an den Benutzer gesendet, falls eines dieser Teilsysteme sichere Betriebsparameter überschreitet. Die Maschine hat auch eine Notabschaltungsoption im Falle eines Problems. PFEIFFER AMS 200 ist ein vielseitiges System, das eine Reihe von Waferbearbeitungsanforderungen erfüllt und gleichzeitig Sicherheit und Präzision gewährleistet. Es ist eine ideale Lösung für Umgebungen, die hochpräzise Ätz-/Aschemaschinen und feinmaßstäbliche Musterfunktionen benötigen.