Gebraucht ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 200 #9315053 zu verkaufen

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200 ist ein Ätzer/Ascher für spezielle Anwendungen wie Flachbildschirme, Halbleiterscheiben und Solarzellen. Die Ausrüstung ist entworfen, um Präzisionsätzen/Aschen von Bereichen so klein wie 350nm zur Verfügung zu stellen. Es verfügt über eine vollständig geschlossene und automatisierte Prozesskammer, die in der Lage ist, Prozessparameter genau zu steuern und eine anpassbare Benutzeroberfläche für einen effizienten Betrieb. ADIXEN AMS 200 ist mit einer fortschrittlichen Gassteuerung ausgestattet, die eine präzise Strömungssteuerung und Überwachung aller relevanten Prozessgase ermöglicht. Das System ist in der Lage, eine Vielzahl von Ätz-/Ascheparametern einschließlich Gasart, Druck, Temperatur und Strömung. Es gibt auch eine Vielzahl von Prozessoptionen, wie Ein/Aus, Ätzen/Aschen und Tiefätzen/Aschen. Das Gerät kann auch auf eine Vielzahl von Probengrößen und Anwendungen zugeschnitten werden und bietet eine hervorragende Gleichmäßigkeit des geätzten/ashten Ergebnisses. ALCATEL AMS 200 verfügt zudem über eine automatisierte Waferausrichtmaschine. Dadurch wird sichergestellt, dass die Probe vor Beginn des Ätzens/Aschens in der Prozesskammer richtig ausgerichtet wird. Die Ausrichtung wird mit einem Satz verstellbarer Ausrichtvorrichtungen erreicht, die für jeden Wafer eine präzise Passform bieten. PFEIFFER AMS 200 verfügt auch über ein modernes Vakuumwerkzeug. Die Anlage kann Drücke unter 0,1 Torr erreichen und ist mit verschiedenen Vakuumkomponenten wie Vakuumpumpe, Vakuummessgerät und Vakuummodellregler ausgestattet. Dadurch wird sichergestellt, dass alle Prozessparameter exakt gesteuert werden und die Proben vollständig dem Ätz-/Aschevorgang ausgesetzt sind. Um sicherzustellen, dass die Ergebnisse wiederholbar und frei von Verunreinigungen sind, verfügt AMS 200 über eine leistungsstarke Abgasanlage. Dieses System verfügt über Abgasdüsen, die alle Prozessumgehungen und ungenutzte Ätz-/Aschegase entfernen und eine saubere und sichere Verarbeitungsumgebung gewährleisten. ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200 ist in einem robusten Edelstahlgehäuse untergebracht, das hervorragenden Schutz vor Staub und anderen Verunreinigungen bietet. Darüber hinaus ist die Einheit so konzipiert, dass sie einfach zu warten und zu reparieren ist. Der Benutzer kann schnell und einfach auf die Prozesskammer zugreifen und verschlissene Teile austauschen, ohne die gesamte Maschine zerlegen zu müssen. Abschließend ist ADIXEN AMS 200 ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der Präzisionsprozesskontrolle für eine breite Palette von Probengrößen und Anwendungen bietet. Es verfügt über einen robusten Umschlag, der leicht zu warten und zu reparieren ist und mit Hilfe eines leistungsstarken Vakuumwerkzeugs und einer Abgasanlage eine hervorragende Gleichmäßigkeit des geätzten/ashten Ergebnisses bietet.