Gebraucht ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 4200 #9225142 zu verkaufen

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 4200 ist ein Plasmaätzer/Ascher-Gerät, das für komplexe Anwendungen zur Herstellung von Halbleiterbauelementen konzipiert ist. Es eignet sich gut für empfindliche und hochpräzise Ätz- und Aschevorgänge und ermöglicht die Herstellung von Hochleistungs-Halbleiterbauelementen mit extrem feinem Detail. Der ADIXEN AMS 4200 wird von einem vektorisierten Medientransportsystem angetrieben, das Genauigkeit und Gleichmäßigkeit auf Kontrollebene bietet. Dies gewährleistet eine hohe Präzision während des gesamten Ätz-/Ascheprozesses, da die überlappten Abstands- und Laufgrößen konsistent sind. Es ist auch in der Lage, mehrere Wafergrößen und Substrate dank seiner verstellbaren Kassette zu handhaben. Die Maschine verwendet mehrere Netzteile aus einer Hand, um die erforderlichen Ätzraten und Gleichmäßigkeitsstufen bereitzustellen. Alle Netzteile sind oberseitig montiert und für die Bedienung und Wartung zugänglich. Das Gerät ist auch beständig gegen Verunreinigungen und Verschiebungen der Prozessbedingungen, da es kontrolliertes, sauberes Plasma verwendet. Mit seinem benutzerfreundlichen Design und dedizierten Funktionstasten können Bediener schnell und zuverlässig mit minimaler Erfahrung produzieren. ALCATEL AMS 4200 ist mit einer Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen gebaut, um die höchste Prozesssicherheit und Zuverlässigkeit zu gewährleisten. Dazu gehören Quarzsensoren, die Wafertemperaturänderungen erkennen, sowie Sicherheitsdeckel, die die Wafer vor plötzlicher Bewegung schützen. Der Ätz-/Ascheprozess wird in Echtzeit mit Diagnosesystemen überwacht, die verhindern, dass es durch plötzliche Veränderungen der Umgebungsbedingungen staut oder beeinträchtigt wird. Die Maschine beinhaltet eine integrierte Software zur präzisen Emulation der Ätz-/Ascheprozessparameter. Diese Software ermöglicht es dem Bediener, Parameter schnell, einfach und präzise zu variieren, um die hervorragende Wiederholbarkeit des Tools zu nutzen. Schließlich ist die gesamte Anlage dank modularer Bauweise und benutzerfreundlichem Design komfortabel installiert und gewartet. Die effiziente Rack-Montage des Modells vereinfacht sowohl die Installation als auch die Verlagerung. Die Wartung ist schnell und bequem mit dem mitgelieferten Werkzeugkasten und herstellergenehmigten Teilen. Insgesamt ist PFEIFFER AMS 4200 eine fortschrittliche und präzise Ätz-/Aschermaschine, die sich perfekt für präzise und komplizierte Waferätzungen und -veraschungen eignet. Mit seinen einfach zu bedienenden Funktionen und zuverlässigen Ergebnissen ist das System für den Einsatz in komplexen Anwendungen zur Herstellung von Halbleiterbauelementen geeignet.