Gebraucht ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 4200 #9280675 zu verkaufen

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 4200 ist eine Ätz-/Aschereinrichtung für die Herstellung mikroelektronischer Geräte. Es soll eine präzise Steuerung von Ätz- und Ascheprozessen für eine Vielzahl von Halbleiter- und/oder mikroelektronischen Gerätematerialien ermöglichen. Das System bietet eine verbesserte Prozesssteuerung durch fortschrittliche Diagnosen und die neuesten Ätz-/Ascheprodukte. ADIXEN AMS 4200 ist eine vollautomatische, modulare Ätz-/Ascheeinheit, die aus zwei wesentlichen Komponenten besteht - dem Eingangsanzeigemonitor und der Ätz-/Aschekammer. Der Bildschirm besteht aus einem 8,4 "farbigen Touchscreen-Display mit Zugriff auf eine Reihe von einstellbaren Parametern, um eine präzise Prozessfähigkeit zu gewährleisten. Eine intuitive grafische Benutzeroberfläche ermöglicht eine einfache Navigation durch verschiedene Ätz-/Ascheoptionen. Das 8,4-Zoll-Touchscreen-Display verfügt über 4-stufige Führungssteuerung, manuelle Bedienung, ein umfassendes Menü mit wesentlichen Informationen und eine dynamische Echtzeit-Betriebsüberwachung. Die Ätz-/Ascherkammer besteht aus zwei separat installierbaren Kammern, der Ätzkammer und der Aschekammer, die über eine Gasleitung verbunden sind. Die Ätzkammer besteht aus einer Wechselstrom-Rückkopplungsschaltung, die einen Schrittmotor steuert, um unterschiedliche Mengen an Prozessgas und Ätzzeit zu steuern, um die gewünschten Ätz-/Ascheprofile zu erzeugen. Die Aschekammer besteht aus einem Keramikmaterialheizkörper, einem Druckwandler und drei Quarzthermodulen. ALCATEL AMS 4200 verfügt auch über kryogene Verträglichkeit, um Ätz-/Ascheprozesse für temperaturempfindliche Materialien zu ermöglichen. Die Maschine kann in einem oder mehreren Wafermodi betrieben werden. Die AMS 4200 bietet auch Sicherheitsmerkmale für den Anwender, wie z.B. einen Not-Aus-Schalter bei Übertemperaturverhältnissen, über Druckverhältnisse und/oder abnorme Gasströmung. PFEIFFER AMS 4200 hat einen Temperaturbereich von 0-1000 ° C und einen Prozessdruckbereich von 0,2-7,5 Torr. Das Werkzeug ist mit einem Druckkammergasanschluss zur Probenaufbereitung und einem manuellen Entlüftungsrohranschluss ausgestattet. Die Materialien der Konstruktion sind Edelstahl, Aluminium und Pyrex. ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 4200 bietet eine Reihe von Funktionen, einschließlich Prozesskontrollgenauigkeit, automatisiertes Be- und Entladen von Wafern und Kompatibilität für mehrere Prozessarten. Es eignet sich zum Ätzen einer Vielzahl von Materialien bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen, einschließlich Si, SiGe und SiO2.