Gebraucht ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 4200 #9285833 zu verkaufen
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ID: 9285833
Weinlese: 2008
Plasma DRIE etcher
Dual load locks
Robot transfer module
Controller rack
RF Generator rack
Front and rear monitor
BROOKS AUTOMATION Platform
Magnatron 7 Robot
ACT 600M TMP Turbo pump
Interface computer
Transfer computer process chamber: AMS X200
ACT 1300M TMP Turbo pump
(2) SEMCO HV52000C SEREN L301 RF Power supplies
ADVANCED ENERGY Dressler cesar RF
ENI Spectrum B-3013 RF Generator
Process gases:
Gas / Range
SF6 / 1000 SCCM
C4F8 / 400 SCCM
O2 / 100 SCCM
O2 / 800 SCCM
Ar / 200 SCCM
N2 / 1000 SCCM
Ar / -
CHF3 EDM / -
CE Marked
Power supply: 200/208 VAC, 3 Phase, 50/60 Hz
2008 vintage.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 4200 ist ein spezieller Plasmaätzer/Ascher, der speziell für anspruchsvolle Anforderungen an das Ätzen und Aschen von Aluminium entwickelt wurde. ADIXEN AMS 4200 verfügt über einen Touchscreen-HMI-Controller mit einer breiten Palette an Ätz- und Aschefunktionen. Es wurde mit einer 700-Watt-Plasmaquelle entwickelt, die eine erhöhte Wiederholbarkeit und erhöhte Ausbeute im Ätz-/Ascheprozess ermöglicht. Es hat ein einzigartiges doppelwandiges Edelstahldesign, das eine Vakuumkammer erzeugt und aufrechterhält und eine ordnungsgemäße Verarbeitung beim Ätzen/Aschen von Aluminiumkomponenten gewährleistet. Es kommt auch mit einer Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen, wie einem zeitgesteuerten Gasventil, einem Gasüberströmventil und einem Doppelgeschwindigkeitsvakuumregler, für mehr Sicherheit. ALCATEL AMS 4200 hat auch viele anpassbare Einstellungen, wie einstellbare DC- und HF-Frequenzen, Breitenmodulation und aktuelle Profile, so dass der Bediener den Ätzprozess anpassen und die gewünschten Ergebnisse sicherstellen kann. Der eingebaute HF-Generator bietet ein breites Leistungsspektrum von 50 W bis 700 W, wodurch der Ätzprozess für jede spezifische Anwendung feinjustiert werden kann. Darüber hinaus ermöglichen die integrierte Kammerdrucksteuerung und das eingebaute Manometer eine präzise Kammerdrucksteuerung beim Ätzen oder Aschen von Aluminiumbauteilen. PFEIFFER AMS 4200 verfügt über eine Reihe von Funktionen, die die Effizienz und Reproduzierbarkeit erhöhen und gleichzeitig die Wartungskosten minimieren. Ein anpassbares Softwarepaket mit Rezeptspeicherung und Alarmprotokollierung ermöglicht es dem Bediener, Verarbeitungsrezepte und Fehlerbehebungen einfach zu konfigurieren und zu speichern. Darüber hinaus sorgen automatische Gasregler und ein optionales programmierbares Abhebesystem für wiederholbare Produktivität. Zudem steht ein effektives und zuverlässiges Zwei-Quellen-Versorgungssystem zur Verfügung, das die Rüstzeiten verkürzt und die Wiederholbarkeit der Prozesse verbessert. Schließlich kann AMS 4200 mit einer Vielzahl von Modulen kombiniert werden, wie z. B. einem In-situ-Vakuum-Lecksuchmodul, das die Setup-Kosten weiter senken und die Wiederholbarkeit der Prozesse verbessern kann. Insgesamt ist ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 4200 ein zuverlässiger und effizienter Ätzer/Ascher. Seine Eigenschaften verbessern die Wiederholbarkeit des Prozesses und minimieren die Wartungskosten, während seine anpassbaren Einstellungen eine präzise Kontrolle des Ätz-/Ascheprozesses ermöglichen und optimale Ergebnisse gewährleisten.
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