Gebraucht ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 601E #9232798 zu verkaufen

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 601E ist ein hochmoderner Ätzer/Ascher für Präzisionsätz- und Ascheprozesse. Diese vielseitige Maschine ist die ideale Wahl für Hochdurchsatz und hochwertige Mikrofertigung. Mit seiner großen Kammer ermöglicht die 601E das Ätzen von bis zu 8 "großen Wafern sowie einer Vielzahl von Substraten wie Silizium, Glas und Polymersubstraten. Das 601E verfügt über fortschrittliche Ätz- und Aschetechnologie, darunter eine 3D-Plasmaquelle, integriertes Gashandling und Niederdruckdifferenzpumpen. Die 3D-Plasmaquelle im 601E ist in der Lage, dichteres und gleichmäßigeres Plasma im Vergleich zu einem herkömmlichen Flachplattendesign zu produzieren. Diese Technologie ermöglicht eine erhöhte Prozessreproduzierbarkeit und erzeugt höhere Ätzraten. Das integrierte Gas-Handling-System hingegen ermöglicht eine präzise Steuerung der Prozessgase und ermöglicht eine gleichmäßigere Plasmaumgebung sowie eine verbesserte Prozesswiederholbarkeit. Das 601E ist außerdem mit einem Kammerkühlsystem ausgestattet, das die Temperatur der Prozesskammer bei längeren Prozessen reduziert. Dadurch wird sichergestellt, dass die Substrate auf einer idealen Temperatur gehalten werden können, um die Ätzleistung zu optimieren und die Endpunktdetektion genau zu steuern. Darüber hinaus hilft das Niederdruckdifferenzpumpsystem, eine gebildete Plasmahülle bei langen Ascheläufen aufrechtzuerhalten. ADIXEN AMS 601E ist auf höchste Ätz- und Aschepräzision ausgelegt. Mit fortschrittlicher Technologie, robustem Design und zuverlässiger Leistung ist die 601E die ideale Wahl für jede Ätz- oder Ascheanwendung.