Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIAL P5000 #293656948 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIAL P5000
ID: 293656948
CVD System (3) Chambers, 8".
AMAT Applied Materials AMAT/APPLIED MATERIAL P5000 Asher/Etcher ist ein vielseitiges Werkzeug für eine Vielzahl von hochpräzisen Prozessanwendungen in zahlreichen Branchen. Diese Ausrüstung bietet überlegene Präzision und Stabilität bei gleichzeitigem effizienten Durchsatz, sodass Anwender konsistente und qualitativ hochwertige Ergebnisse erzielen können. AMAT P5000 verfügt über drei Prozesskammern - eine für die Vorreinigung, eine für die Ätzung und eine für die Nachreinigung. Jedes Prozessmodul ist mit unabhängigen Druck- und Temperaturregelungen sowie In-situ- und Ex-situ-Überwachungsfunktionen ausgestattet, sodass Anwender den Prozess optimieren können. Die Temperaturregelung der Kammern erfolgt über einen eingebauten Kühler und eine präzise thermische PID-Schleife. Darüber hinaus ist ein fortschrittliches Druckkontrollsystem vorhanden, um die Gleichmäßigkeit im stationären Zustand und die genaue Prozessoptimierung zu verbessern. APPLIED MATERIAL P5000 ist in der Lage, eine breite Palette von Abscheidungstechniken, wie Electron Cyclotron Resonance (ECR) etch, high-density plasma etch (HDPE), reactive ion etch (RIE), cryogenic deep plasma etch (DPE), und mehrstufige Ätzung. Darüber hinaus unterstützt das Gerät eine breite Palette von Ätzgasen, was es zu einer großen Auswahl für Anwendungen in erweiterten Logik- und Speichergeräten, Verbindungsleitungen, MEMS-Geräten und mehr macht. P5000 verfügt über mehrere erweiterte Funktionen, die es von anderen Etch/Asher-Systemen abheben. Die erweiterten integrierten Automatisierungsfunktionen des Tools reduzieren die Benutzereinbindung in Setup-und Prozessrezepte und machen es zu einer idealen Wahl für größere Produktionsanforderungen. Eine integrierte Interlock Verifikationsmaschine überwacht alle kritischen Werkzeugparameter in Echtzeit und liefert dem Anwender detailliertes Feedback, um zuverlässige und wiederholbare Ergebnisse zu gewährleisten. AMAT/APPLIED MATERIAL P5000 bietet auch erweiterte Prozessüberwachungsfunktionen, um eine genaue Prozessoptimierung zu gewährleisten. Dazu gehören die optische Beobachtung in situ und ex situ sowie ein eingebautes Spektrometer zur Überprüfung kritischer Prozessparameter während der Rezepturen. Darüber hinaus verfügt das Tool über eine elektrische Echtzeit-Überwachungseinrichtung, die vor jeder Art von Überätzen oder Unterätzen schützt. Insgesamt ist APPLIED MATERIAL/Applied Materials AMAT P5000 Asher/Etcher eine ideale Wahl für Prozessanwendungen, die überlegene Leistung und Genauigkeit erfordern. Seine fortschrittlichen Funktionen wie integrierte Automatisierung und Prozessüberwachung machen es ideal für Produktionsprozesse, und seine breite Palette an Abscheide- und Ätztechniken machen es äußerst vielseitig. Das Modell ist auch einfach zu bedienen und zu warten, was seine Effektivität in der Produktionsumgebung weiter verbessert.
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