Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 0020-89006 #167778 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS 0020-89006 ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher für die Halbleiterherstellung. Dieser Ätzer/Ascher verwendet Kaltplasma-Technologien zur Verarbeitung von Dünnschichtsubstraten. Das Gerät verfügt über planare und 3D-Musterfunktionen zum Ätzen und Aschen von Dünnschichtsubstraten zur Submikronpräzision mit wiederholbarer Gleichmäßigkeit. Zu den Komponenten des Systems gehören eine Ätzkammer mit Ladeschloss, eine Ascherkammer mit Ladeschloss, eine Pumpstation, eine Kammer für integriertes Filter/Spülen, eine Inertgasversorgung, eine Präzisionsausrichteinheit, ein Pneumatikmodul, eine Stromversorgung, eine Ex-situ-Vakuumansaugmaschine und eine Vakuumverriegelung. Das Werkzeug wurde entwickelt, um einen größeren Ressourcendurchsatz und eine höhere Auslastung mit verbesserter Produktionsausbeute und reduzierter Substratschädigung zu gewährleisten. Dieses Modell ist in der Lage, bis zu 6-Zoll-Wafer zu handhaben, und verfügt über ein Prozesskontrollmodul mit mehreren Rezepten und 250 Schritte pro Rezept. Es wurde entwickelt, um mehrere Dünnschichtätz- und Substratbehandlungsverfahren zu unterstützen, einschließlich, aber nicht beschränkt auf dielektrisches Ätzen, CMP-Oberflächenplanarisierung, elektrostatische Plasmareinigung und -konditionierung, Sputterätzen, konforme Beschichtung, Oxidation/Nitridierung und Hochtemperaturglühen. Das Gerät verfügt über eine Vielzahl von Funktionen, um eine genaue Verarbeitung und Gleichmäßigkeit zu gewährleisten, einschließlich Wafer-Spannmoment und -steuerung, Kühlmittel-Verteilerdrucksteuerung, Autofokus-Fähigkeit für die Tiefenschärfe, die Fähigkeit, die Prozessbedingungen und Leistungsstufen anzupassen, in-situ-Messfähigkeiten zur Überwachung ung kritischer ProzesSparameter. AMAT 0020-89006 ist ein branchenübliches Ätz-/Aschersystem, das hohe Präzision mit wiederholbarer Gleichmäßigkeit bietet. Seine fortschrittlichen Funktionen bieten eine effiziente Verarbeitung und gewährleisten Gleichmäßigkeit und Genauigkeit für Produktionsmengenläufe. Seine anspruchsvolle Einheit bietet weitreichende Möglichkeiten für Dünnschichtätzen und Dünnschichtverarbeitung. Diese Maschine ist die perfekte Lösung für Produktionsanwendungen in der Halbleiterherstellung.