Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 0240-92696 #171999 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS 0240-92696 ist eine Ätz-/Ascheplattform zum Ätzen und Aschen verschiedener Dünnschichtmaterialien. Der Ätzer/Ascher verfügt über eine vollautomatische Ausrüstung zum Be-/Entladen von Proben und verfügt über ein Windows-basiertes HMI. Es ist mit zwei Bearbeitungsmodulen ausgestattet: einem Elektro-Poliermodul mit 5 Taschen und einem Trockenätzmodul mit 6 Taschen. Beide Module verfügen über eine duale Prozesskammer-Konstruktion, die unabhängige Prozesse in jeder Kammer ermöglicht und die Verarbeitung großer Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 18 Zoll ermöglicht. Das Ätz-/Aschersystem ist in der Lage, eine Vielzahl von Materialien zu verarbeiten, darunter Metalle, Silizium, Galliumarsenid, Keramik und Glas mit einer Reihe von Ätztechniken, einschließlich Nassätzen, Plasmaätzen und reaktivem Ionenätzen (RIE). Das Nassätzmodul ist mit beheizten Bädern für korrosive Ätzmassen und separaten Spül- und Entlüftungssystemen für eine saubere und effiziente Verarbeitung ausgestattet. Das Plasmaätzmodul nutzt Hochfrequenz (RF) -Quellenleistung, die sowohl Richtungs- als auch isotropes Ätzen mit außergewöhnlicher Ätzsteuerbarkeit ermöglicht. Das RIE-Modul erreicht durch Verwendung eines hochdichten Plasmas eine exakte Musterätzung mit minimalem Schmutz. AMAT 0240-92696 verfügt über ausgefeilte Überwachungs- und Steuerungsfunktionen, die präzise und wiederholbare Prozesse ermöglichen. Mit dem automatisierten Sampler kann die Ätz-/Aschereinheit beispielsweise Temperatur, Druck und ICP-HF-Leistung in beiden Modulen ständig überwachen. Es erfordert eine minimale Bedienung mit einer intuitiven grafischen Benutzeroberfläche, um einen reibungslosen Betrieb zu ermöglichen. Die Maschine enthält auch ein automatisiertes Abgasmanagement-Tool, um sicherzustellen, dass alle Gase ordnungsgemäß aus dem Werkzeug entlüftet werden, und einen Notabschalter für zusätzlichen Schutz. Insgesamt ist APPLIED MATERIALS 0240-92696 eine fortschrittliche Ätz-/Ascherplattform, die Anwendern eine Reihe von hochpräzisen Ätz- und Aschefunktionen bietet. Die integrierte Automatisierungsanlage und die Überwachungssteuerung sorgen für präzise Prozesse mit minimaler Anwenderbeteiligung und ihre breite Palette an Ätztechniken machen sie für den Einsatz in einer Vielzahl von Anwendungen geeignet.