Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 8100 #293645356 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS 8100 Ätzer/Ascher ist eine Ausrüstung für das hochproduktive nanometrische Ätzen und Aschen von Halbleiterbauelementen. AMAT 8100 Ätzer/Ascher enthält eine ColdWall™ Bearbeitungskammer, die Substrate bis 200 mm bei Temperaturen bis 300 ° C verarbeiten kann. Das System verwendet induktiv gekoppelte Plasmatechnologie für ein schnelleres und gleichmäßigeres Ätzen verschiedener Materialien. Dies ermöglicht Zykluszeiten deutlich unter 1 Minute bei Asche- und Ätzaufgaben. APPLIKATIONSMATERIALIEN 8100 Ätzer/Ascher verfügt auch über einen Doppelfass-Transportmechanismus zum automatisierten Be- und Entladen von Substraten. Das Dual-Barrel-Design erleichtert das schnellere Be- und Entladen und verbesserte Flexibilität beim Ausführen mehrerer Rezepte. 8100 Ätzer/Ascher unterstützt Prozessrezepte und kompatible Ätzgase für viele der gängigen Materialien wie Silizium, Kieselsäure, Aluminium, Wolfram, Dielektrika und mehr. Das Gerät bietet eine Reihe von physikalischen Prozesssteuerungsgrößen wie Druck, Plasmaleistung und Prozessgasfluss und ermöglicht so die Flexibilität des Anwenders beim Ätzen. AMAT/APPLIED MATERIALS 8100 etcher/asher bietet darüber hinaus leistungsstarke Funktionen zur Datenerfassung und -analyse sowie eine umfassende Rezeptbibliothek, mit der Benutzer individuelle Rezepte erstellen, speichern und verwalten können, wodurch die Einrichtung und Ausführung von Prozessen beschleunigt wird. AMAT 8100 Ätzer/Ascher ist eine ideale Maschine für Anwendungen wie z.B. durch Füllen, Kontaktlochätzen und Antireflexbeschichtung. Das Tool wurde entwickelt, um eine hervorragende Prozesswiederholbarkeit und -leistung zu gewährleisten. Das benutzerfreundliche Design und die Flexibilität machen es für eine Vielzahl von Prozessanwendungen geeignet, sodass Anwender maximale Ätz- und Ascheproduktivität erzielen können.