Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 8110 #293652765 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS 8110 Ätzer/Ascher ist ein vielseitiges, leistungsstarkes Werkzeug zum Ätzen und Strukturieren einer Vielzahl von Substraten, einschließlich Silizium, Quarz und anderen Dielektrika. Es ist für eine schnelle und effiziente Materialentfernung konzipiert, um Gerätefunktionen auf dem Mikron bis Submikron-Maßstab zu erstellen. Dieses Werkzeug ist in der Lage, geätzte Tiefe und Breite mit einer Genauigkeit von besser als 10 Angström mit dem reaktiven Ionenätzverfahren (RIE) zu steuern. AMAT 8110 verfügt über eine Verarbeitungskammer mit geschlossenem Kragen zur Gewährleistung der Gleichmäßigkeit und ist mit automatisierten parallelen induktiv gekoppelten Plasmaquellen (iCP) ausgestattet, die ein hohes Seitenverhältnis und eine Schrittabdeckung ermöglichen. Automatisierte Wafer-Handling-Technologie liefert konsistente, wiederholbare Ergebnisse für die Serienproduktion. Der Ätzer/Ascher wurde entwickelt, um Chargen von bis zu vierundzwanzig 6-Zoll (150 mm) Wafern für hohen Durchsatz und maximale Produktivität zu handhaben. Dieses Werkzeug ist für die Verträglichkeit mit einer breiten Palette von Ätzgasen wie Chlor (Cl2), Fluorkohlenwasserstoffen (CF4 und CHF3), Sauerstoff (O2) und Stickstofftrifluorid (NF3) ausgelegt. Die Verwendung von hochreinen Ätzgasen und einer Verarbeitungskammer mit geschlossenem Kragen führt zu verbesserter Ätzgleichförmigkeit, Enddurchsatz und Wiederholbarkeit. Zusätzlich kann der Ätzer/Ascher mit einem Quarzkristallmonitor (QCM) ausgestattet werden, um den Ätzprozess direkt vor Ort zu überwachen. APPLIED MATERIALS 8110 Ätzer/Ascher umfasst eine integrierte Kompressor- und Vakuumausrüstung sowie ein geschlossenes Kühlsystem, das eine optimierte Plasmaumgebung liefert. Eine integrierte Benutzeroberfläche bietet eine intuitive Steuerung, Überwachung und Aufzeichnung verschiedener Prozessparameter, einschließlich Temperatur und Druck. Dieses Tool unterstützt auch die Echtzeit-Überwachung mehrerer Prozessvariablen und ermöglicht die Prozessoptimierung und die Aufrechterhaltung der Prozesskonsistenz für hohe Erträge. Um Probleme im Zusammenhang mit der Wiederholbarkeit des Prozesses zu lösen, verwendet dieses Tool eine proprietäre Charrate-Analyseeinheit mit Mustererkennung, um konsistente Ätzergebnisse von Wafer zu Wafer zu gewährleisten. 8110 bietet auch die Möglichkeit einer präzisen automatisierten Wafer-Ausrichtmaschine für die Schrittabdeckung und Strukturen mit hohem Seitenverhältnis. Als Teil seiner Standardausstattung ist AMAT/APPLIED MATERIALS 8110 auch mit einer programmierbaren Rückkopplungsschleifensteuerung ausgestattet, die eine Sondenprüfung zur verbesserten Prozesssteuerung für Ertragsergebnisse ermöglicht. AMAT 8110 Ätzer/Ascher ist entworfen, um Herstellern mit ihrer Produktionsleistung und Qualität zu helfen. Das vielseitige Design, der hohe Durchsatz und die robuste Hardware ermöglichen eine schnelle und effiziente Produktion mit wiederholbarer Leistung und maximalen Erträgen. Dieses Werkzeug ist ein wesentliches Werkzeug für Halbleiterhersteller, das höchste Skalierungs- und Gerätepräzision erreicht.