Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 8110 #9269146 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS 8110
ID: 9269146
Wafergröße: 5"
Etchers, 5".
AMAT/APPLIED MATERIALS 8110 ist ein Ätzer/Ascher, der eine überlegene Plasmaätzleistung bietet und eine überlegene Prozessqualität und Wiederholbarkeit erreicht. Es ist eine einzigartige Ausrüstung, die in der Lage ist, eine Vielzahl von Materialien zu ätzen. Das System ist mit zwei unabhängigen Premium Controllern und zwei Substratfuttern ausgestattet, die für die Ausführung mehrerer Materialien und Prozessrezepte ausgelegt sind. AMAT 8110 verfügt über einen Hochdurchsatz-Serienprozess für alle Ätzvorgänge in einem breiten Anwendungsspektrum. Die Hochleistungskammern bieten Platz für alle Substratgrößen und sind mit einer APM 1700 oder 1400 vorkonfiguriert (für größere Volumina). APPLIED MATERIALS 8110 enthält auch einen fortschrittlichen digitalen Rohrofen und ein massives Abgaskühlwerkzeug, das schnelle Rampenraten und tiefe Ätzleistung ermöglicht. 8110 bietet überlegene Wiederholbarkeit mit integrierten Prozessüberwachungstools wie nachvollziehbaren Dateien, Parameterdateien und Prozessmonitoren. Dies gewährleistet eine konsistente Asset-Output und Performance. Der digitale Rohrofen ermöglicht schnelle Temperaturrampen und minimiert die Variabilität kritischer Teile des Ätzprozesses. AMAT/APPLIED MATERIALS 8110 verfügt über ein flexibles Elektrodendesign, das die Prozesssteuerung und Wiederholbarkeit verbessert und durch seine drei Ätzelektroden eine überragende Flexibilität bietet. AMAT 8110 verfügt auch über eine Vielzahl von Steuerungen, darunter einen dynamischen Druckregler, eine Sauerstoff- und Fluorflussregelung und eine Lichtbogenspannungsregelung. So können die Anwender die Ätzprozesse anpassen und den Prozess auf die bestmöglichen Ergebnisse abstimmen. ANGEWANDTE MATERIALIEN 8110 kann zum Ätzen von Metallen, Polymeren, Isolatoren und Halbleitern verwendet werden und bietet wettbewerbsfähige Leistung für jeden Materialtyp. Schließlich kann 8110 im Rahmen einer kompletten Modellkonfiguration in bestehende Zellarchitekturen integriert und mit anderen AMAT-Geräten gepaart werden. AMAT/APPLIED MATERIALS 8110 ist der perfekte Ätzer/Ascher für Hochleistungs-Ätzanwendungen. Seine fortschrittliche Technologie und Design bieten überlegene Ätzleistung, Wiederholbarkeit und Kontrolle für alle Materialtypen. Diese benutzerfreundliche Ausrüstung bietet Anwendern höchste Prozessleistung und Produktivität.
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