Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 8115 #78336 zu verkaufen
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ID: 78336
Wafergröße: 5"
Plasma Etcher for 5" wafers
System includes:
25 x 25 SS water cooled bell jar
Power hoist
AMAT PLC controller
Auto valve control
2Kw RF power supply with matching network
Multi MFC gas inlet & pressure controller
Heat & cool exchanger pump assembly
Three gas manifold
Leybold TMP1000 L/S Turbo pump
D60 Mechanical pump
Quartzware and Spares
Manuals
Not included:
RF power supply
Turbo pump and controller
Gas and vacuum manifold
Mechanical pump
Gate valve
O-rings
Seals
Gaskets
Currently stored in a warehouse.
AMAT/APPLIED MATERIALS 8115 Ätzer/Ascher ist eine fortschrittliche Trockenätzausrüstung, die entwickelt wurde, um runde oder rechteckige Wafer bis zu 8 "in der Größe zu verarbeiten. Es wird in einer Vielzahl von Branchen wie Halbleiterherstellung, Flachbildschirm und MEMS-Herstellung verwendet. Seine Ätzfähigkeiten machen es ideal für ähnlich große Substrate. Dieses System verfügt über eine ausgeklügelte Steuereinheit, die eine präzise Prozesssteuerung und Wiederholbarkeit ermöglicht. Die präzise zweiachsige Bewegungssteuerung der Maschine ermöglicht leistungsstarke, wiederholbare Ätzergebnisse. Ein weiteres Merkmal von AMAT 8115 ist seine Fähigkeit, eine breite Palette von Prozessgasen wie O2, Cl2, SF6, NH3 usw. zu handhaben. Diese Gasflexibilität macht es für eine Vielzahl von Ätzbedürfnissen anpassbar. Die APPLIED MATERIALS 8115 verwendet eine Hartkathoden-Offenfeldkomponente, die im Vergleich zu Magnetronsystemen eine gleichmäßigere Ätzung ermöglicht. Zusätzlich kann der integrierte HF-Generator eine hohe Leistung von bis zu 300 W liefern. Dieses Werkzeug arbeitet auf kompakter Grundfläche und besteht aus Transfermodul, Reaktionskammer, Robotik und Abgasanlage. Das Modell soll das automatische Be- und Entladen von Wafern erleichtern. Das Gerät ist auch mit Gasüberwachungsfähigkeit ausgestattet, um sicherzustellen, dass der Prozess auf optimalem Niveau läuft. 8115 Etcher/Asher wurde entwickelt, um Hochleistungsätzen mit extremer Genauigkeit, Wiederholgenauigkeit und langfristiger Zuverlässigkeit zu bieten. Es ist ein bequemes und kostengünstiges Werkzeug für Halbleiterhersteller und andere Industrien, die Mikroherstellungsprozesse verwenden.
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