Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 8115 #9196362 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS 8115 ist eine Ätz-/Ascheausrüstung, die ein schnelles Ätzen und Aschen für kritische Geräteschichten in vielen fortgeschrittenen Materialabscheidungs- und Ätzprozessen ermöglicht. AMAT 8115 bietet überlegene Prozessleistung für kritische Anwendungen in der Silizium-Wafer-Halbleiterverarbeitung. Dieses System bietet Präzisionsätzen und Aschen für mehrere Materialien, darunter Silizium, Siliziumdioxid, Polysilizium, Nitrid und Metalle. Dieses Gerät wird von einem fortschrittlichen Softwarepaket mit einem integrierten Speichernetzwerk und Prozessor angetrieben, mit dem Benutzer die beste Leistung, Produktivität und Kosteneffizienz erzielen können. APPLIED MATERIALS 8115 umfasst zwei unabhängige und automatisierte Prozessquellen, die die höchsten Erträge von Prozessen liefern. Anwender sind in der Lage, ihre Prozesse mit den aktuellsten Techniken zu optimieren, und 8115 werden separate Rezepte für Ätz- und Ascheprozesse gleichzeitig ausführen. AMAT/APPLIED MATERIALS 8115 verfügt über eine vollautomatische HF-Quelle, Low-Park-Datenerfassung und Wafer Configuration Map-Auswahlen, mit denen Benutzer Prozessziele für die einzelnen Wafer auswählen können. Dies ermöglicht eine verbesserte Prozessgleichförmigkeit und eine verbesserte Zykluszeit. AMAT 8115 verfügt über eine integrierte optische Maschine zur Beobachtung der Waferoberfläche für die Echtzeit-Prozessüberwachung und -diagnose. Dies ermöglicht Prozessoptimierung, Wartung und Ertragsverbesserung. ANGEWANDTE MATERIALIEN 8115 ist in der Lage, eine breite Palette von Rezeptparametern zu unterstützen, die effiziente Gaslieferung, Leistung, Temperatur, Druck und Kammersteuerung umfassen. Es bietet auch eine anspruchsvolle Kombination aus Hochgeschwindigkeitsätzen, effizienter Kühlung und schneller Entfernung von Prozessresten. Dies hilft, die engen Heiz-, Kühl- und Ätzanforderungen eines hochentwickelten Prozesses aufrechtzuerhalten. Darüber hinaus ist 8115 auf einer offenen Architekturplattform aufgebaut, sodass es leicht in andere AMAT-Geräte und Softwaremodule integriert ist. Mit seinem umfangreichen Feature-Set können Anwender zahlreiche Ätz- und Ascheanwendungen problemlos durchführen. AMAT/APPLIED MATERIALS 8115 ist ein kompaktes und leistungsstarkes Werkzeug, perfekt für die Substratverarbeitung vieler fortschrittlicher Materialien.