Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 8116 #9226746 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS 8116
ID: 9226746
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1993
Oxide etcher, 6" 1993 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS 8116 ist eine Hochleistungs-Ätz-/Ascher-Ausrüstung, die in der Halbleiterverarbeitung verwendet wird. Das System ist speziell für die präzise, präzise und hochpräzise Abscheidung und Ätzung von dünnen Folien ausgelegt. Es ist für den Produktionsprozess in Reinraumumgebungen gedacht und eignet sich für eine Vielzahl von Halbleitermaterialien und Anwendungen. AMAT 8116 verfügt über eine Einzel-Wafer-Ladeeinheit, die einen schnellen und zuverlässigen Durchsatz ermöglicht. Das Open-Frame-Plattformdesign ermöglicht einen leistungsstarken Vakuumbetrieb. Die Maschine verfügt auch über erweiterte Betriebsdrücke, hohe Regelgenauigkeit und Temperaturgleichmäßigkeit. Das unabhängige Temperaturregelwerkzeug von APPLIED MATERIALS 8116 ermöglicht eine präzise Wärmesteuerung während des gesamten Abscheide- oder Ätzprozesses. Die Anlage ist in der Lage, hochpräzise Asher/Etcher-Abscheidungsprozess, sowohl Weit- und Multi-Spot, und kann durch-Maske und Durchoxid-Abscheidungen durchführen. Der Ascher/Ätzer kann für den Trockenätzprozess verwendet werden und wird hauptsächlich zur Bildung von Grabenstrukturen in Halbleiterbauelementen verwendet. Alle Abscheide- und Ätzprozessparameter werden über eine benutzerfreundliche grafische Oberfläche auf dem Touchscreen eingestellt. Zuverlässigkeit wird durch das Plug and Play Konzept und hohe Genauigkeit der Temperaturregelung gewährleistet. Das Modell ist für den Betrieb im 24/7-Produktionsmodus konzipiert, mit einer voll integrierten intelligenten Ausstattungsfähigkeit. Die Software ermöglicht automatisierte Prozessablaufsteuerungs- und Überwachungstechniken. 8116 verfügt über erweiterte Sicherheitsverbesserungen, einschließlich eines säurebasierten Sicherheitsmanagementsystems. Die Sicherheitseinheit besteht aus Bad-Wasser-Temperatur und pH-Überwachung, Alarmanlagen und entsprechend bewerteten Schutzabzugshauben. Die Maschine ist auch mit einem 50 + Teile Integritätsüberwachungswerkzeug ausgestattet, so dass keine fehlerhaften Teile wieder in die Ätzeinheit gelangen und an den Kunden gesendet werden. AMAT/APPLIED MATERIALS 8116 ist ein leistungsfähiges, flexibles Ätz- und Abscheidungsobjekt, das eine unschlagbare Abscheidungsgenauigkeit, Einheitlichkeit und Wiederholbarkeit bietet. Mit seinen einzigartigen erweiterten Betriebsdrücken, Temperaturregel- und Sicherheitssystemen ist AMAT 8116 die perfekte Lösung für eine Vielzahl von Halbleiteranwendungen.
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