Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 8116 #9250130 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS 8116 ist eine Art Ätzer/Ascher für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es ist ein Einzel-Wafer Plasmaätzer/Ascher mit hoch programmierbaren Steuerungen und hoher Gleichmäßigkeit ausgestattet. AMAT 8116 wird hauptsächlich in der Produktion von integrierten Schaltkreisen (IC) eingesetzt. ANGEWANDTE MATERIALIEN 8116 erzeugt mit HF-Leistung ein relativ niedrigtemperaturförmiges Plasma um die Vorrichtung herum, das dann verwendet wird, um Materialschichten wegzuätzen. 8116 verwendet eine metallgeschirmte (MS) Kammerkonstruktion, die die Plasmagleichförmigkeit durch Minimierung der HF-Leistungsleckage optimiert. Die Kammer verwendet auch parallele Plattenelektroden, um Gleichmäßigkeit und angepasste Plasmadichte über den Durchmesser des Wafers zu gewährleisten. Mit dieser Funktion können kleine isolierte Bereiche auch nach kleinsten Spezifikationen präzise gefertigt werden. AMAT/APPLIED MATERIALS 8116 verfügt auch über ultrahochvakuum- (UHV) mechanische Pumpen, die die Verarbeitung von Hochleistungsmaterialien wie Ge/Si und SiGe/Si ermöglichen. Darüber hinaus ist AMAT 8116 aufgrund seiner hohen Genauigkeit in der Lage, exakte Prozessbedingungen für genaue Ätzvorgänge wie Puls und Spin-Etch zu erreichen. Andere erweiterte Funktionen wie einstellbarer Schlitz und einstellbare Duschkopfhöhe ermöglichen eine präzise Kontrolle über die Ätzgeometrie und Gleichmäßigkeit. APPLIED MATERIALS 8116 ist schlüsselfertig und bietet überlegene Leistung und Zuverlässigkeit. Durch den Einsatz von Pulstechnologie ist es möglich, minimale Merkmalsgrößen von Nanometern und Sub-Mikrometern mit hohem Durchsatz zu erreichen. 8116 ist IGBT-basiert und wird mit einem skalierbaren Netzteil versorgt, das für einen bestimmten Ätzprozess eingestellt werden kann. Seine ausgezeichnete Plasmagleichmäßigkeit, niedrigen Betriebskosten und Flexibilität machen es zu einer idealen Wahl für die moderne Geräteherstellung.