Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 8310 #293619542 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS 8310 Etcher/Asher ist ein Werkzeug zur Halbleiterherstellung, das einen präzisen und chemisch gesteuerten Ätzprozess ermöglicht. Die Anlage ermöglicht chemisches Ätzen mit präziser Kontrolle der chemischen Reaktionsparameter und Ätzchemie. Es wird verwendet, um eine Vielzahl von Materialien einschließlich metallischer Oberflächen, Siliciumdioxid (Siliciumoxid), Nitride und Polymere zu ätzen oder zu formen. AMAT 8310 besteht aus einer Drehscheibe mit fester Drehzahl, einer Kammer, in der die Ätzchemikalie untergebracht ist, und einem Gaszufuhruntersystem. Der Drehtisch ist so ausgelegt, dass er das Substrat mit einer zuverlässigen Geschwindigkeit genau dreht, um die Ätzchemie gleichmäßig anzuwenden. Die Ätzkammer enthält eine Reihe von teflonbeschichteten Elektroden, von denen jede eine kontrollierte Menge an Ätzarzneimittel liefert. Die Gaszufuhr-Untereinheit liefert eine Reihe von Gasen, wie CF4, O2 und N2, an die Kammer und bietet die optimale Umgebung für den chemischen Ätzprozess. Der Prozess wird durch Beladen von Substraten in die Hochvakuumkammer innerhalb der Maschine eingeleitet. Das mechanische Drehen des Drehtisches wird durch einen drehzahlverstellbaren Motor und die Ätzchemie durch ein automatisiertes chemisches Förderwerkzeug gesteuert. Die Gaseinspeisungsteilanlage führt dann die entsprechenden Gase ein, die zur Unterstützung des Ätzprozesses benötigt werden, und die Elektroden innerhalb der Kammer erzeugen eine gleichmäßige Verteilung der Ätzchemikalie. Die Kammer wird dann unter Druck gesetzt und auf die für das Ätzen erforderliche Temperatur und den erforderlichen Druck gebracht. Der Prozess wird dann von einem HF-Generator und Überwachungsmodell überwacht. Dieses Gerät steuert die Menge der Hochfrequenzleistung, die an den Wafer angelegt wird, um sicherzustellen, dass das Ätzen mit der richtigen Rate erfolgt. Der Monitor zeigt auch Prozessparameterinformationen an, die den erreichten Ätzgrad, die verbleibende Zeit bis zum Abschluss des Ätzens sowie die aktuelle Betriebstemperatur und den aktuellen Druck der Kammer anzeigen. Sobald das Ätzen abgeschlossen ist, wird die Kammer entlüftet, entspannt und gekühlt. Anschließend wird das Substrat aus der Kammer entfernt und mit einem optischen Mikroskop inspiziert, um das gewünschte Muster und die Oberflächentopographie zu überprüfen. ANGEWANDTE MATERIALIEN 8310 ist in der Lage, Tausende von Substraten ohne manuellen Eingriff zu verarbeiten, um ein schnelles und zuverlässiges Ätzen zu gewährleisten.