Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 8310 #9365710 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS 8310 (AMAT 8310) ist ein automatisierter Plasmaätzer/Ascher, der für hohen Durchsatz und präzises Ätzen/Aschen von gemusterten Substraten ausgelegt ist. Das Gerät ist in der Lage, über eine Vielzahl von Materialien wie SiO2, SiN, Si3N4, Polyimid, Metalle, Nitrid und andere Materialien zu ätzen/zu aschen. Das System ist mit einstellbaren Dual-Elektronenstrahl-Kanonen, einer integrierten Vision-Einheit und einer Multistation-Roboter-Handhabungsmaschine ausgestattet. Angewandte Materialien 8310 besteht aus einer Vakuumkammer, einer Isolierkammer und einer Dual-Elektronenstrahlkanone. Die Vakuumkammer sorgt für eine gleichmäßige Plasmaumgebung, die für eine präzise Musterätzung/-veraschung erforderlich ist. Die Isolationskammer ermöglicht es, in inerter Atmosphäre Gase in die Prozesskammer einzuspritzen und ultraviolette Strahlung aus dem Prozessbereich zu sperren, wodurch Verschmutzungen reduziert werden. Die Doppelelektronenstrahlkanone ist der wichtigste Teil des Ätzers/Aschers. Elektronenstrahlen liefern die für die Präzisionsaktivierung des Plasmas notwendige Energie. Dies ermöglicht einen hohen Durchsatz des Ätz-/Ascheprozesses. Die Dual-Gun-Technik hilft, die Notwendigkeit zu beseitigen, Substrate in Fällen neu zu positionieren, in denen mehrere Ätzstufen erforderlich sind, wodurch die Gesamtzeit für das Ätzen/Aschen verringert wird. 8310 ist mit einem integrierten Vision-Tool zur Ausrichtung, Punktprüfung und Mustererkennung ausgestattet. Dadurch wird sichergestellt, dass Muster exakt ausgerichtet sind und dass Substrate den Herstellerangaben entsprechen. Darüber hinaus wird ein Multi-Station-Roboter-Handling eingesetzt, um zusätzliche Flexibilität im Umgang mit Substraten zu bieten. Dies hilft, die Anzahl der manuellen Eingriffe zu verringern, was den Durchsatz erheblich verbessern kann. Schließlich verfügt AMAT/APPLIED MATERIALS 8310 über eine umfangreiche Datenbank, die es Anwendern ermöglicht, ihre Rezepte für einen bestimmten Materialätz-/-ashing-Prozess zu speichern. Das Modell bietet auch drei verschiedene Betriebsarten: manuell, halbautomatisch und automatisch - jeder von ihnen liefert die beste Leistung und Stabilität für den Einsatz in verschiedenen Anwendungen. Kurz gesagt, bietet AMAT 8310 eine automatisierte, hohe Durchsatz, präzise Ätz-/Aschemaschinen, die in der Lage ist, eine breite Palette von Materialien mit einem integrierten Vision-System und Multi-Station-Roboter-Handhabung, sowie einstellbare Dual-Elektronenstrahl-Kanonen für hohe Präzision zu ätzen/zu aschen.