Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 8310A #9356368 zu verkaufen

ID: 9356368
Oxide etcher AMAT 0010-00033 Controller unit ENI OEM25A-21091-51 RF Generator OEM-25A RF Power generator BOC EDWARD E2M40 High vacuum pump ADVANCED ENERGY 3155031-004 AZX90 RF Matching network Chamber: AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-00172 Pre-reactor.
AMAT/APPLIED MATERIALS 8310A ist eine Ätz-/Aschemaschine mit einer Vakuumkammer, die die für das Aschen und Ätzen von Nass- und Trockenprozessen erforderliche Umgebung bereitstellt. Die einzigartige, modulare Architektur von AMAT 8310A ermöglicht einen schnellen Austausch von Komponenten und Flexibilität bei der Aufrechterhaltung des Vakuums. Die Leistungsstärken und die Hochleistungs-integrierten Quelltechnologien ermöglichen einen schnellen, effizienten und wiederholbaren Asche- und Ätzprozess. Das Hochleistungs-Vakuumsystem ascht, ätzt und reinigt sicher mit Wärme- oder Hochfrequenz-Energiequellen und gewährleistet so die Sicherheit des Bedieners bei gleichzeitiger Optimierung der Materialabfuhr. APPLIED MATERIALS 8310A ist mit AMAT ED3 Steuereinheit ausgestattet, die eine engmaschige Steuerung von Asche-/Ätzprozessen und Steuerung der Vakuummaschine ermöglicht. Die eigenständig geprüften und zertifizierten Verschlüsse, Umweltsiegel und das bewährte Prozessmanagement sorgen für einen zuverlässigen und konsistenten Prozess. Darüber hinaus sorgen fortschrittliche Leckprüfungen und die Vakuumstabilitätserkennung für die Sicherheit des Werkzeugs und seiner Komponenten. 8310A ist auf eine Vielzahl von Asche- und Ätzprozessen zugeschnitten, einschließlich Nass- und Trockenätzen. Bei Trockenätzprozessen wie Plasmaätzen wird Wärme oder Hochfrequenzenergie erzeugt, um Materialien auf empfindlichste Weise zu entfernen. AMAT/APPLIED MATERIALS 8310A bietet eine automatisierte Steuerung von Prozessparametern wie Druck, Temperatur, Gasfluss und Gaszusammensetzung, die eine schnelle Einrichtung und Optimierung von Asche- und Ätzrezepten ermöglicht. Eine erweiterte Fernbedienung bietet eine sichere Kontrolle über die Daten und den Betrieb des Ätzers/Aschers mit der Option, Fehler aus der Ferne zu diagnostizieren und auf Medienarchive zuzugreifen. Es bietet auch eine flexible Konfiguration und Prozessüberwachung mit einem integrierten Schwingungserkennungsmodell, das eine Echtzeit-Überwachung der Prozessbedingungen ermöglicht. Neben der Vielzahl von Technologien, die den Ätz- und Ascheprozess verbessern und automatisieren, bietet AMAT 8310A auch eine Reihe effizienzsteigernder Funktionen wie reduzierte Zykluszeit und höhere Produktivität. Seine modulare Architektur bietet den maximalen Raum für die Prozesssteuerung, mit Zugang zu einer Vielzahl von Kammern und mehreren Energiequellen. Dadurch ist die Ausrüstung in der Lage, eine breite Palette von Materialien und Substraten effizient zu aschen, zu ätzen und zu reinigen. APPLIED MATERIALS 8310A ist ideal für Industrien, die schnelle, effiziente und wiederholbare Ätz- und Ascheprozesse benötigen.
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